特許

J-GLOBAL ID：201403010125401563

蒸着装置およびこれを用いた有機発光表示装置の製造方法

発明者： 李 相信
出願人/特許権者： 三星ディスプレイ株式會社
代理人 (2件)： 佐伯 義文 ,  渡邊 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-143344
公開番号（公開出願番号）：特開2014-077193
出願日： 2013年07月09日
公開日（公表日）： 2014年05月01日
要約：

【課題】蒸着物質が噴射される角度を制御してシャドウ現象が防止できる蒸着装置および有機発光表示装置の製造方法に関する。【解決手段】本発明にかかる蒸着装置は、蒸着物質を収容する蒸着源と、蒸着源の一側に第1方向に配列され、対向する基板に蒸着物質を噴射する複数の噴射ノズルとを含み、蒸着源は、第1方向を基準として中心領域および中心領域の両端の外郭領域に区分され、各外郭領域に配列される第1噴射ノズルは、その終端をなす面が基板の表面と第1方向に第1傾斜角をなしつつ、蒸着源の外側方向に向かう。本発明の実施形態によれば、基板に入射する蒸着物質の入射角度を増加させ、蒸着用マスクと基板との間に蒸着物質が浸透するシャドウ現象を抑制し、蒸着マージンを低減し、蒸着均一度および蒸着効率を向上させることができる。これにより、有機発光表示装置の高解像度の実現を容易にすることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

蒸着物質を収容する蒸着源と、 前記蒸着源の一側に第1方向に配列され、対向する基板に前記蒸着物質を噴射する複数の噴射ノズルとを含み、 前記蒸着源は、前記第1方向を基準として中心領域および前記中心領域の両端の外郭領域に区分され、 前記各外郭領域に配列される第1噴射ノズルは、 その終端をなす面が前記基板の表面と前記第1方向に第1傾斜角をなしつつ、前記蒸着源の外側方向に向かうように形成されることを特徴とする蒸着装置。

IPC (3件)：

C23C 14/24 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50

FI (3件)：

C23C14/24 A ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (16件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC33 ,  3K107CC35 ,  3K107CC45 ,  3K107FF15 ,  3K107GG04 ,  3K107GG28 ,  3K107GG32 ,  3K107GG34 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BC07 ,  4K029BD01 ,  4K029CA01 ,  4K029DB12