特許
J-GLOBAL ID：201403010494314186

エネルギー線照射システム及びワーク搬送機構

発明者：
小野田 正敏

小野田 正敏 について

, 
立道 潤一

立道 潤一 について

, 
松本 武

松本 武 について


出願人/特許権者：
日新イオン機器株式会社

日新イオン機器株式会社 について


代理人 (2件)： 西村 竜平 ,  齊藤 真大
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-079779
公開番号（公開出願番号）：特開2014-203713
出願日： 2013年04月05日
公開日（公表日）： 2014年10月27日
要約：
【課題】エネルギー線照射システムにおいて、スループットを飛躍的に改善するとともに、エネルギー線の効率的な利用に資する。【解決手段】エネルギー線射出機構と、前記エネルギー線が照射されるワークWを所定のワーク授受領域とエネルギー線の照射領域ARとの間で搬送するワークホルダ21とを具備したものであって、前記ワーク授受領域を、前記照射領域ARを通る仮想直線Cを挟んで相対する2箇所に設けるとともに、前記ワークホルダ21として、一方のワーク授受領域と前記照射領域ARとの間を移動する第1ワークホルダ21(1)と、他方のワーク授受領域と前記照射領域ARとの間を移動する第2ワークホルダ21(2)とを設けた。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
エネルギー線を所定の照射領域ARに向かって射出するエネルギー線射出機構と、前記エネルギー線が照射される対象物であるワークを所定のワーク授受領域と前記照射領域ARとの間で搬送するワークホルダとを具備したものであって、 前記ワーク授受領域が、前記エネルギー線の照射領域ARを通る仮想直線を挟んで相対する2箇所に設けてあるとともに、 前記ワークホルダとして、一方のワーク授受領域(以下、第1ワーク授受領域とも言う。)と前記照射領域ARとの間でワークで搬送する第1ワークホルダと、他方のワーク授受領域(以下、第2ワーク授受領域とも言う。)と前記照射領域ARとの間でワークを搬送する第2ワークホルダとが設けてあることを特徴とするエネルギー線照射システム。
IPC (2件)：
H01J 37/317 ,  H01L 21/265
FI (2件)：
H01J37/317 B ,  H01L21/265 603C
Fターム (2件)：
5C034CC07 ,  5C034CC12
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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