特許
J-GLOBAL ID:201403011593764360
HDD用ガラス基板の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人深見特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-147283
公開番号(公開出願番号):特開2014-010869
出願日: 2012年06月29日
公開日(公表日): 2014年01月20日
要約:
【課題】ガラス基板表層を安定化させ、HDDの信頼性を向上できる、HDD用ガラス基板の製造方法を提供する。【解決手段】記録密度が600Gbit/inch2以上であるHDD用ガラス基板の製造方法は、ガラス基板を研磨する第2ポリッシュ工程(S18)と、第2ポリッシュ工程(S18)後、ガラス基板を気相中で加熱処理するエージング工程(S19)とを備える。エージング工程(S19)における処理温度(単位:°C)と処理時間(単位:分)との積が1500以上であり、処理温度は40°C超ガラス転移点温度未満である。【選択図】図3
請求項(抜粋):
記録密度が600Gbit/inch2以上であるHDD用ガラス基板の製造方法において、
前記ガラス基板を研磨する工程と、
前記研磨する工程後、前記ガラス基板を気相中で加熱処理する工程とを備え、
前記加熱処理する工程における処理温度(単位:°C)と処理時間(単位:分)との積が1500以上であり、前記処理温度は40°C超ガラス転移点温度未満である、HDD用ガラス基板の製造方法。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (8件):
4G015EA00
, 5D112AA02
, 5D112AA24
, 5D112BA03
, 5D112BA09
, 5D112GA09
, 5D112GB01
, 5D112GB10
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