特許

J-GLOBAL ID：201403012296571869

荷電粒子線装置

発明者： 重藤 訓志 ,  佐藤 貢 ,  飯泉 紀子 ,  能田 弘行 ,  西村 雅子 ,  渡邉 俊哉 ,  許斐 麻美 ,  富田 真一 ,  多持 隆一郎
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (3件)： 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-162024
公開番号（公開出願番号）：特開2014-239063
出願日： 2014年08月08日
公開日（公表日）： 2014年12月18日
要約：

【課題】容易に手動調整技術を習得するためのパラメータ調整練習機能を備えた荷電粒子線装置を提供する。【解決手段】対物レンズのフォーカス条件とX方向非点補正器とY方向非点補正器の制御条件の組に対応した練習用画像を記憶する記憶部と、ユーザの操作に応じてフォーカス条件とX方向非点補正条件とY方向非点補正条件を設定する操作部と、操作部で設定された補正条件の組に対応して記憶部から読み出された練習用画像を表示する表示部とを備える。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

試料を観察するときにフォーカス条件および非点補正条件の調整を必要とする荷電粒子線装置において、 前記試料上に荷電粒子線を集束させる対物レンズと、 X方向の非点を調整するX方向非点補正器と、 Y方向の非点を調整するY方向非点補正器と、 前記対物レンズのフォーカス条件と前記X方向非点補正器のX方向非点補正条件と前記Y方向非点補正器のY方向非点補正条件とを制御する制御部と、 予め定められたフォーカス条件、X方向非点補正条件、Y方向非点補正条件の組ごとに対応した練習用画像を記憶する記憶部と、 ユーザの操作に応じて前記フォーカス条件と前記X方向非点補正条件と前記Y方向非点補正条件を設定する操作部と、 前記操作部で設定された前記フォーカス条件、前記X方向非点補正条件、前記Y方向非点補正条件の組に対応して前記記憶部から読み出された練習用画像を表示する表示部と、を備えることを特徴とした荷電粒子線装置。

IPC (4件)：

H01J 37/22 ,  H01J 37/24 ,  H01J 37/153 ,  H01J 37/21

FI (4件)：

H01J37/22 502A ,  H01J37/24 ,  H01J37/153 B ,  H01J37/21 B

Fターム (2件)：

5C033JJ01 ,  5C033MM01

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 二次元画像の類似性を測定するための方法および電子顕微鏡
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2009-524070   出願人：フォルシュングスツェントルム・ユーリッヒ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング
• 顕微鏡シミュレータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-107792   出願人：株式会社ニコン