特許
J-GLOBAL ID：201403012436125104
めっき膜の形成方法及びコーティング溶液
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
伊藤 進
, 長谷川 靖
, 篠浦 治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-009543
公開番号（公開出願番号）：特開2014-143251
出願日： 2013年01月22日
公開日（公表日）： 2014年08月07日
要約：
【課題】大気中かつ溶液プロセスで、ガラス基板10上へ密着性の高い銅めっき膜11、12を形成できる銅めっき膜の形成方法を提供する。【解決手段】実施形態の銅めっき膜の形成方法は、ガラス基板10に銅めっき膜11、12を成膜するめっき工程と、銅めっき膜11、12を覆う保護膜13を塗布する保護膜形成工程と、500°Cで大気中熱処理を行う熱処理工程と、保護膜13を剥離する剥離工程と、を具備する。【選択図】図1A
請求項（抜粋）：
無機材料からなる基板にめっき膜を成膜するめっき工程と、
前記めっき膜を覆う保護膜を塗布する保護膜形成工程と、
350°C〜550°C以下の温度で大気中熱処理を行う熱処理工程と、
前記保護膜を剥離する剥離工程と、を具備することを特徴とするめっき膜の形成方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (14件)：
5E343AA02
, 5E343AA23
, 5E343AA26
, 5E343BB24
, 5E343BB44
, 5E343BB52
, 5E343BB71
, 5E343DD33
, 5E343DD43
, 5E343ER33
, 5E343FF11
, 5E343FF16
, 5E343GG02
, 5E343GG11
