特許

J-GLOBAL ID：201403012800920802

非蒸発型ゲッターポンプ

発明者： 間瀬 一彦 ,  菊地 貴司
出願人/特許権者： 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構
代理人 (2件)： 杉村 憲司 ,  田中 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-279715
公開番号（公開出願番号）：特開2014-122599
出願日： 2012年12月21日
公開日（公表日）： 2014年07月03日
要約：

【課題】小型でガス吸着容量が大きく、高真空領域での使用に適した非蒸発型ゲッターポンプを提案する。【解決手段】非蒸発型ゲッターポンプ1において、互いに離間し、対向して配置された2枚の支板20,30と、支板20,30の双方にそれぞれ設けられた貫通孔に両端部を挿入され、支板20,30の少なくとも一方に保持された直線状のヒータ40と、支板20,30間で、ヒータ40の周りに対称的に配置されるとともに、それぞれ、ヒータ40の延在方向に非蒸発型ゲッターピルを積層してなる一組のゲッターピル積層体50と、ヒータ40の周りに対称的に配置されるとともに、それぞれ、少なくとも支板20,30間を直線状に延びる一組の支柱60とを設け、一組の支柱60によって、支板20,30で一組のゲッターピル積層体50を挟持するように、支板20,30を互いに連結する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

非蒸発型ゲッターポンプにおいて、 互いに離間し、対向して配置された2枚の支板と、 前記支板の双方にそれぞれ設けられた貫通孔に両端部を挿入され、前記支板の少なくとも一方に保持された直線状のヒータと、 前記支板間で、前記ヒータの周りに対称的に配置されるとともに、それぞれ、前記ヒータの延在方向に非蒸発型ゲッターピルを積層してなる一組のゲッターピル積層体と、 前記ヒータの周りに対称的に配置されるとともに、それぞれ、少なくとも前記支板間を直線状に延びる一組の支柱とを備え、 前記一組の支柱は、前記支板で前記一組のゲッターピル積層体を挟持するように、前記支板を互いに連結していることを特徴とする非蒸発型ゲッターポンプ。

IPC (1件)：

F04B 37/02

FI (1件)：

F04B37/02 A

Fターム (5件)：

3H076AA24 ,  3H076BB38 ,  3H076CC52 ,  3H076CC55 ,  3H076CC99