特許

J-GLOBAL ID：201403013523169181

加速度センサ

発明者： 宮▲崎▼ 崇裕 ,  酒井 峰一 ,  杉本 圭正 ,  丸山 ユミ
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (1件)： 特許業務法人ゆうあい特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-222262
公開番号（公開出願番号）：特開2014-209082
出願日： 2013年10月25日
公開日（公表日）： 2014年11月06日
要約：

【課題】熱歪みの影響を低減しつつ、検出精度の低下を抑制できる加速度センサを提供する。【解決手段】第1、第2可動部20、30を、それぞれ回転する際の回転軸となると共に支持基板11にアンカー部24、34を介して支持されたトーション梁23、33を備える同じ平面形状とし、かつ、支持基板11の所定の基準点19を中心としてトーション梁23、33に沿って延びる互いの仮想線Lが一致するように回転対称に配置する。そして、仮想線L上に位置する連結梁60を介して第1、第2可動部20、30を一体化する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

支持基板(11)と、 前記支持基板の面方向に対する法線方向に前記支持基板から離間して配置され、前記法線方向に加速度が印加されたとき、加速度に応じて回転可能とされた第1、第2可動部(20、30)と、 前記支持基板に前記第1、第2可動部と対向する状態で配置された下部電極(71〜74)と、を備え、 前記第1、第2可動部は、それぞれ回転する際の回転軸となると共に前記支持基板にアンカー部(24、34)を介して支持されたトーション梁(23、33)を有していると共に平面形状が同じとされ、かつ、前記支持基板の所定の基準点(19)を中心として前記トーション梁に沿って延びる互いの仮想線(L)が一致するように回転対称に配置され、前記仮想線上に位置する連結梁(60)を介して一体化されていることを特徴とする加速度センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84 ,  B81B 3/00

FI (3件)：

G01P15/125 Z ,  H01L29/84 Z ,  B81B3/00

Fターム (34件)：

3C081AA01 ,  3C081BA30 ,  3C081BA32 ,  3C081BA44 ,  3C081BA47 ,  3C081BA76 ,  3C081CA03 ,  3C081CA13 ,  3C081CA29 ,  3C081CA32 ,  3C081EA02 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112CA33 ,  4M112CA34 ,  4M112DA02 ,  4M112DA06 ,  4M112DA08 ,  4M112DA15 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA04 ,  4M112EA06 ,  4M112EA07 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13 ,  4M112FA01 ,  4M112GA01 ,  4M112GA03