特許
J-GLOBAL ID：201403013917941556
可撓性基板の搬送装置及び表示デバイス又は電子回路の製造システム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012053961
公開番号（公開出願番号）：WO2012-115037
出願日： 2012年02月20日
公開日（公表日）： 2012年08月30日
要約：
帯状に形成され可撓性を有する基板(S)の搬送装置(1)は、基板(S)を送り出す供給ローラー(5b)と、基板(S)を巻き取る回収ローラー(6b)と、基板(S)の送り方向に対して交差する方向(X,Z)に供給ローラー(5b)及び回収ローラー(6b)を駆動する駆動部(8)とを有する。供給ローラー(5b)は第一レール(3)に案内され、回収ローラー(6b)は第二レール(4)に案内される。レール駆動機構(7)は、両ローラー(5b,6b)の間の間隔を変更する。レール(3,4)の間に配置される処理部(PA)は、樹脂又はステンレス鋼製の基板(S)に成膜、露光、洗浄等の処理をする。処理部(PA)は、レール(3,4)に沿って複数配置される。両ローラー(5b,6b)とともにレール(3,4)に沿って運ばれる基板(S)が複数の処理部(PA)で順次処理されることで、基板(S)上に有機EL素子が形成される。
請求項（抜粋）：
帯状に形成され可撓性を有する基板を送り出す供給ローラーと、
前記供給ローラーから送り出された前記基板を巻き取る回収ローラーと、
前記供給ローラーから前記回収ローラーへ向けた前記基板の送り方向に対して交差する方向に、前記供給ローラーと前記回収ローラーとを駆動する駆動部と
を備える搬送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
3F104AA03
, 3F104AA05
, 3F104CA23
, 3F104CA25
, 3F104CA27
