イオンエネルギーアナライザ、当該イオンエネルギーアナライザ内での電気信号処理方法、並びに、当該イオンエネルギーアナライザの製造及び操作方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：伊東忠重 , 伊東忠彦 , 大貫進介
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-502755
公開番号（公開出願番号）：特表2014-513390
出願日： 2012年03月28日
公開日（公表日）： 2014年05月29日
要約：

入射グリッド(80,126,160)、選択グリッド(82,134,134’)、及びイオンコレクタ(84,136,136’)を有する、プラズマ(66)のイオンエネルギー分布を決定するイオンエネルギーアナライザ(74,122,174)。前記入射グリッド(80,126,160)は、前記プラズマ(66)のデバイ長未満に寸法が設定された第1複数の開口部を有する。前記イオンコレクタ(84,136,136’)は、第1電源(182)を介して前記入射グリッド(80,126,160)と結合する。前記選択グリッド(82,134,134’)は、前記入射グリッド(80,126,160)と前記イオンコレクタ(84,136,136’)との間に設けられ、かつ、第2電源(180)を介して前記入射グリッド(80,126,160)と結合する。イオン電流計(106)が、前記イオンコレクタ(84,136,136’)上でのイオン流束を測定し、かつ、前記イオン流束に係る信号を送信するように、前記イオンコレクタ(84,136,136’)と結合する。

請求項（抜粋）：

プラズマのイオンエネルギー分布を決定するのに用いられるイオンエネルギーアナライザであって: 当該イオンエネルギーアナライザの第1面を構成し、かつ、前記プラズマに曝されるように設けられて、第1複数の開口部を有する入射グリッドであって、前記第1複数の開口部は、前記プラズマのデバイ長未満の寸法に設定される、入射グリッド; 前記入射グリッドと前記イオンコレクタとの間に設けられ、かつ、第2電源を介して前記入射グリッドと操作可能なように結合する、選択グリッド;及び前記イオンエネルギーアナライザの第2面を構成し、かつ、第1電源を介して前記入射グリッドと操作可能なように結合する、イオンコレクタ;及び、前記イオンコレクタと操作可能なように結合し、かつ、前記イオンコレクタ上でのイオン流束を測定して、前記の測定されたイオン流束を表す信号を送信するイオン電流計; を有するイオンエネルギーアナライザ。

IPC (3件)：

H05H 1/00 , H01L 21/306 , H05H 1/46

FI (3件)：

H05H1/00 A , H01L21/302 103 , H05H1/46 M

Fターム (9件)：

5F004AA01 , 5F004BA04 , 5F004BA11 , 5F004BA20 , 5F004BB29 , 5F004BD03 , 5F004CA03 , 5F004CA06 , 5F004CB05

引用特許：

審査官引用 (3件)

特許第7045466号
特開平2-021547
ビーム源及びビーム処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-071073 出願人：株式会社荏原製作所, 東北大学長

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