特許

J-GLOBAL ID：201403014505917622

試料ホルダ、及び、観察用試料固定方法

発明者： 幸山 和弘 ,  赤津 昌弘
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (2件)： 磯野 道造 ,  多田 悦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-128766
公開番号（公開出願番号）：特開2013-254616
出願日： 2012年06月06日
公開日（公表日）： 2013年12月19日
要約：

【課題】リターディング法による断面試料の良好な観察を可能にする試料ホルダを提供する。【解決手段】第1固定部材121と観察用試料としての断面試料7と第2固定部材122とがそれぞれ密着された状態で載置され、かつ、電子顕微鏡の電子光学鏡筒の内部に挿入される試料載置部17と、試料載置部に電圧を導入する電圧導入手段と有し、試料載置部は、第1固定部材と断面試料と第2固定部材とを載置位置に位置決めする位置決め部を備えており、位置決め部201は、断面試料の観察対象となる観察面を第1平面401とし、第1平面に隣接して配置される、第1固定部材及び第2固定部材の双方の面を第2平面402とし、第1固定部材及び第2固定部材の双方の第2平面を、断面試料の第1平面に対して平行で、かつ、第1平面から等距離の位置に位置決めする。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

第1固定部材と観察用試料としての断面試料と第2固定部材とがそれぞれ密着された状態で載置され、かつ、電子顕微鏡の電子光学鏡筒の内部に挿入される試料載置部と、 前記試料載置部に電圧を導入する電圧導入手段と有し、 前記試料載置部は、前記第1固定部材と前記断面試料と前記第2固定部材とを載置位置に位置決めする位置決め部を備えており、 前記位置決め部は、 前記断面試料の観察対象となる観察面を第1平面とし、当該第1平面に隣接して配置される、前記第1固定部材及び前記第2固定部材の双方の面を第2平面とし、 前記第1固定部材及び前記第2固定部材の双方の前記第2平面を、前記断面試料の前記第1平面に対して平行で、かつ、当該第1平面から等距離の位置に位置決めする ことを特徴とする試料ホルダ。

IPC (1件)：

H01J 37/20

FI (1件)：

H01J37/20 A

Fターム (3件)：

5C001AA01 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04