特許
J-GLOBAL ID：201403014751493556
成膜材料供給装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, 柳 康樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-222310
公開番号（公開出願番号）：特開2014-074204
出願日： 2012年10月04日
公開日（公表日）： 2014年04月24日
要約：
【課題】装置の大型化を抑制しつつ、成膜材料の補充周期を長くすることができる成膜材料供給装置を提供する。【解決手段】成膜材料供給装置1は、第1の方向D1に沿って複数の成膜材料Mを配置可能な成膜材料配置領域10が形成されている。更に、成膜材料配置領域10は、当該成膜材料配置領域10内の成膜材料Mの配置方向である第1の方向D1と交わる第2の方向D2に沿って複数形成されている。これによって、装置内において、スペースの無駄を低減して効率よく成膜材料Mを配置することが可能となる。従って、装置内に補充する成膜材料Mの数を増やすことによって補充周期を長くした場合であっても、効率のよい配置とすることで装置が大型化することを抑制できる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
イオンプレーティング法による成膜装置へ成膜材料を供給する成膜材料供給装置であって、
第1の方向に沿って複数の固形状の前記成膜材料を配置可能な成膜材料配置領域が形成され、
前記成膜材料配置領域は、前記第1の方向と交わる第2の方向に沿って複数形成されている、成膜材料供給装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
4K029CA03
, 4K029DB08
, 4K029DB15
