特許

J-GLOBAL ID：201403015697267886

ハンドラーおよび検査装置

発明者： 清水 博之
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  宮坂 一彦 ,  渡辺 和昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-104802
公開番号（公開出願番号）：特開2014-224785
出願日： 2013年05月17日
公開日（公表日）： 2014年12月04日
要約：

【課題】第1対象物および第2対象物に対する加熱を行なう際に、その加熱に先立って、第1温度検出部および第2温度検出部が適正に作動するものであることを確認することができるハンドラーおよび検査装置を提供すること。【解決手段】ハンドラーは、第1加熱プレート上のICデバイスごと加熱して、ICデバイスの温度を調整する第1温度調整部と、第2加熱プレート上のICデバイスごと加熱して、ICデバイスの温度を調整する第2温度調整部と、第1加熱プレートの温度THot Plate1を検出する第1温度検出部と、第2加熱プレートの温度THot Plate2を検出する第2温度検出部と、絶対値|THot Plate1-THot Plate2|が閾値αHot Plate以上か否かを判断する制御部と、制御部が絶対値|THot Plate1-THot Plate2|が閾値αHot Plate以上であると判断した場合に、その旨を報知する報知部とを備える。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

搬送対象物を保持する第1保持ユニットが設置される第1ユニット設置部と、 搬送対象物を保持し、前記第1保持ユニットに保持された搬送対象物に対する動作と同じ動作を施す第2保持ユニットが設置される第2ユニット設置部と、 前記第1保持ユニットを加熱または冷却して、該第1保持ユニットに保持された搬送対象物の温度を調整する第1温度調整部と、 前記第2保持ユニットを加熱または冷却して、該第2保持ユニットに保持された搬送対象物の温度を調整する第2温度調整部と、 前記第1保持ユニットの温度を検出する第1温度検出部と、 前記第2保持ユニットの温度を検出する第2温度検出部と、 前記第1温度調整部および前記第2温度調整部が作動する以前に、前記第1温度検出部により検出された前記第1保持ユニットの温度と、前記第2温度検出部により検出された前記第2保持ユニットの温度との差の絶対値が閾値以上か否かを判断する制御部と、 前記絶対値が前記閾値以上である場合に、その旨を報知する報知部と、を備えることを特徴とするハンドラー。

IPC (1件)：

G01R 31/26

FI (1件)：

G01R31/26 Z

Fターム (7件)：

2G003AA07 ,  2G003AC03 ,  2G003AD01 ,  2G003AD03 ,  2G003AF07 ,  2G003AG11 ,  2G003AH06