特許

J-GLOBAL ID：201403016346198086

塗布装置

発明者： 重川 靖史 ,  近江 将
出願人/特許権者： パナソニックヘルスケア株式会社
代理人 (1件)： 新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-036577
公開番号（公開出願番号）：特開2014-161819
出願日： 2013年02月27日
公開日（公表日）： 2014年09月08日
要約：

【課題】基板上に塗布された微量の塗布量を安定して正確に測定することができる塗布装置を提供する。【解決手段】重量測定部2と、重量測定部2上に基板3を搬送するとともに、基板3を、重量測定部2上に配置する基板搬送ユニット4と、基板3上に、塗布物5を塗布する塗布ヘッド6と、重量測定部2にて測定された結果に基いて、基板3上に塗布された塗布物5の塗布量を算出する塗布量算出部と、を備え、塗布量算出部は、塗布物5を塗布する前に測定する第1の測定と、塗布物5を塗布した後に測定する第2の測定と、を行なうことを特徴とする塗布装置とした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に塗布物を塗布する塗布装置において、 重量測定部と、 前記重量測定部上に前記基板を搬送するとともに、前記基板を、前記重量測定部上に配置する基板搬送手段と、 前記基板上に、前記塗布物を塗布する塗布手段と、 前記重量測定部にて測定された結果に基いて、前記基板上に塗布された前記塗布物の塗布量を算出する塗布量算出部と、 を備え、 塗布量算出部は、前記塗布物を塗布する前に測定する第1の測定と、前記塗布物を塗布した後に測定する第2の測定とを行なう ことを特徴とする塗布装置。

IPC (1件)：

B05C 11/00

FI (1件)：

B05C11/00

Fターム (6件)：

4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042BA02 ,  4F042BA12