特許

J-GLOBAL ID：201403016942184971

加速度センサ

発明者： 杉本 圭正 ,  酒井 峰一 ,  宮▲崎▼ 崇裕 ,  丸山 ユミ
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (1件)： 特許業務法人ゆうあい特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-066064
公開番号（公開出願番号）：特開2014-190808
出願日： 2013年03月27日
公開日（公表日）： 2014年10月06日
要約：

【課題】熱歪みの影響を低減しつつ、検出精度の低下を抑制できる加速度センサを提供する。【解決手段】支持基板11に、支持基板11の面方向に対する法線方向に支持基板11から離間して配置され、法線方向に加速度が印加されたとき、加速度に応じて回転可能とされた可動電極25a、25bを備える可動部20と、可動電極25a、25bと対向する状態で配置された下部電極71、72とを備える。また、支持基板11に、法線方向に下部電極71、72から離間して配置され、可動電極25a、25bと下部電極71、72との間に構成される容量と等しい容量を下部電極71、72との間に構成する固定電極32、42を有する固定部30、40を備える。そして、可動電極25a、25bと下部電極71、72との間に構成される容量と固定電極32、42と下部電極71、72との間に構成される容量との差に基づいて加速度の検出を行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

支持基板(11)と、 前記支持基板の面方向に対する法線方向に前記支持基板から離間して配置され、前記法線方向に加速度が印加されたとき、加速度に応じて回転可能とされた可動電極(25a、25b)を備える可動部(20)と、 前記支持基板に前記可動電極と対向する状態で配置された下部電極(71、72)と、を備える加速度センサにおいて、 前記法線方向に前記下部電極から離間して配置され、前記可動電極と前記下部電極との間に構成される容量と等しい容量を前記下部電極との間に構成する固定電極(32、42)を有する固定部(30、40)を備え、 前記可動電極と前記下部電極との間に構成される容量と前記固定電極と前記下部電極との間に構成される容量との差に基づいて前記加速度の検出を行うことを特徴とする加速度センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84 ,  B81B 3/00

FI (3件)：

G01P15/125 Z ,  H01L29/84 Z ,  B81B3/00

Fターム (28件)：

3C081AA01 ,  3C081BA07 ,  3C081BA30 ,  3C081BA32 ,  3C081BA33 ,  3C081BA44 ,  3C081BA47 ,  3C081BA76 ,  3C081CA03 ,  3C081CA32 ,  3C081EA02 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA24 ,  4M112CA31 ,  4M112CA33 ,  4M112CA34 ,  4M112DA02 ,  4M112DA06 ,  4M112DA08 ,  4M112DA15 ,  4M112EA04 ,  4M112EA11 ,  4M112FA01 ,  4M112FA05 ,  4M112GA03