特許
J-GLOBAL ID:201403016982308355

測定装置及び方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 日向寺 雅彦 ,  小崎 純一 ,  市川 浩 ,  白井 達哲
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-541762
公開番号(公開出願番号):特表2014-533830
出願日: 2012年11月21日
公開日(公表日): 2014年12月15日
要約:
測定システム(5)は、放射源(10)及び検出システム(15)を備え、放射源は、この放射源からの放射線が試料(25)上に入射するように配置されている又は配置可能であり、検出システムは、試料を介して放射線の少なくとも一部分を受けるように構成されており、このシステムは、試料の少なくとも一部分を通過した後で、放射線が試料を通過する経路長及び/又は放射線が入射する少なくとも1つの表面の反射率を変えるように再構成可能である。試料の特性は、第1及び第2の測定値に少なくとも基いて決定され得る。
請求項(抜粋):
放射源と、 検出システムと、 を備え、 前記放射源は、放射線を放射し、前記放射線が試料に入射するように配置されるか、又は、配置可能であり、 前記検出システムは、前記試料を介して前記放射線の少なくとも一部分を受けるように構成されるか、又は、そのように構成することが可能であり、 前記放射線が前記試料の少なくとも一部分を通過した後で、前記放射線の前記試料を通過する経路長、および、前記放射線が入射する少なくとも1つの表面の反射率の少なくともいずれか一方を変えるように再構成可能な測定システム。
IPC (3件):
G01N 21/03 ,  G01N 21/01 ,  G01N 21/27
FI (3件):
G01N21/03 Z ,  G01N21/01 B ,  G01N21/27 B
Fターム (37件):
2G057AA01 ,  2G057AA02 ,  2G057AB01 ,  2G057AB02 ,  2G057AB03 ,  2G057AB04 ,  2G057AB06 ,  2G057AB08 ,  2G057AC01 ,  2G057AC06 ,  2G057BA01 ,  2G057BB01 ,  2G057BB04 ,  2G057BD01 ,  2G057DA03 ,  2G057DA15 ,  2G057DB03 ,  2G059AA03 ,  2G059AA05 ,  2G059BB06 ,  2G059BB09 ,  2G059BB11 ,  2G059DD13 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH03 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ16 ,  2G059JJ17 ,  2G059LL03 ,  2G059MM01 ,  2G059MM05

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