特許
J-GLOBAL ID：201403017158719610
空気層の厚さ測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
栗原 浩之
, 村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-059182
公開番号（公開出願番号）：特開2014-185864
出願日： 2013年03月21日
公開日（公表日）： 2014年10月02日
要約：
【課題】金属層に誘電体層が接合された接合体に生じた空気層の厚さを非破壊で測定することができる空気層の厚さの測定方法を提供する。【解決手段】金属板2に樹脂板3が接合された接合体1において、それらの間に生じた空気層5の厚さ測定方法であって、樹脂板3側から接合体1にテラヘルツ波を照射し、樹脂板3の往復回数をm、空気層5の往復回数をnとしたときの反射波をRmnとし(m、nは0以上の整数)、反射波R10、反射波R11を選択し、これらの反射波が検出されるまでの時間差と、テラヘルツ波の速度とから空気層5の厚さdを計算する。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
金属層に誘電体層が接合された接合体において、それらの間に生じた空気層の厚さ測定方法であって、
前記誘電体層側から前記接合体にテラヘルツ波を照射し、
前記誘電体層及び前記空気層との界面を反射した反射波、前記金属層に反射して少なくとも前記空気層を一往復以上した複数の反射波のうちから二つを選択し、
選択された二つの反射波が検出されるまでの時間差と、テラヘルツ波の速度とから前記空気層の厚さを計算する
ことを特徴とする空気層の厚さ測定方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (9件)：
2F067AA27
, 2F067BB16
, 2F067HH01
, 2F067JJ01
, 2F067KK08
, 2F067KK11
, 2F067RR00
, 2F067RR24
, 2F067UU11
