カーボンナノチューブの形成方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：山川政樹 , 山川茂樹 , 小池勇三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-138437
公開番号（公開出願番号）：特開2014-001111
出願日： 2012年06月20日
公開日（公表日）： 2014年01月09日
要約：

【課題】触媒物質を用いたカーボンナノチューブの形成が、コストが低減された状態で行えるようにする。【解決手段】基板101の上に、カーボンナノチューブ成長触媒として機能する触媒物質からなる微粒子102を配置し、微粒子102が配置された基板101の上に有機樹脂を塗布して塗布膜103を形成した後、塗布膜103を形成した基板101を不活性な雰囲気で加熱して微粒子102よりカーボンナノチューブを成長させる。【選択図】図1B

請求項（抜粋）：

カーボンナノチューブ成長触媒として機能する触媒物質からなる微粒子を基板の上に配置する第1工程と、前記微粒子が配置された前記基板の上に有機樹脂を塗布して塗布膜を形成する第2工程と、前記塗布膜を形成した前記基板を不活性な雰囲気で加熱して前記微粒子よりカーボンナノチューブを成長させる第3工程とを少なくとも備えることを特徴とするカーボンナノチューブの形成方法。

IPC (1件)：

C01B 31/02

FI (1件)：

C01B31/02 101F

Fターム (10件)：

4G146AA11 , 4G146AA12 , 4G146BA13 , 4G146BB05 , 4G146BB22 , 4G146BB23 , 4G146BC02 , 4G146BC23 , 4G146BC33B , 4G146BC37B

引用特許：

出願人引用 (8件)

チューブ積層体及びその製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-069071 出願人：株式会社日立製作所
ナノ構造の形成
公報種別：公表公報出願番号：特願2005-509253 出願人：ビ-エイイ-システムズパブリックリミテッドカンパニ-
金属層から単層カーボンナノチューブを製造する方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2009-503276 出願人：ハイピリオンカタリシスインターナショナルインコーポレイテッド

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審査官引用 (1件)

チューブ積層体及びその製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-069071 出願人：株式会社日立製作所

引用文献：

出願人引用 (2件)

審査官引用 (2件)

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