特許
J-GLOBAL ID：201403018537033586

露光装置及び露光方法並びにデバイス製造方法

発明者：
白石 健一

白石 健一 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (2件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-201862
公開番号（公開出願番号）：特開2014-056990
出願日： 2012年09月13日
公開日（公表日）： 2014年03月27日
要約：
【課題】露光不良の発生を抑制できる露光装置を提供する。【解決手段】液体を介して露光光で基板を露光する。露光光が射出される射出面を有する光学部材と、射出面に対向可能な物体とギャップを介して配置される部材を有して光学部材下を移動可能なステージと、物体と光学部材との間に液体を供給する第1液体供給装置と、ステージに少なくとも一部が配置されて、ギャップに液体を供給する第2液体供給装置と、を備える。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、 前記露光光が射出される射出面を有する光学部材と、 前記射出面に対向可能な物体とギャップを介して配置される部材を有して前記光学部材下を移動可能なステージと、 前記物体と前記光学部材との間に液体を供給する第1液体供給装置と、 前記ステージに少なくとも一部が配置されて、前記ギャップに液体を供給する第2液体供給装置と、を備える露光装置。
IPC (1件)：
H01L 21/027
FI (3件)：
H01L21/30 515D ,  H01L21/30 515G ,  H01L21/30 516E
Fターム (8件)：
5F146BA04 ,  5F146BA05 ,  5F146BA11 ,  5F146CC01 ,  5F146CC04 ,  5F146CC05 ,  5F146DA32 ,  5F146DA33
引用特許：
審査官引用 (8件)
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