特許
J-GLOBAL ID：201403019278616558
電子顕微鏡撮像システムおよび方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
高島 一
, 土井 京子
, 鎌田 光宜
, 田村 弥栄子
, 山本 健二
, 村田 美由紀
, 小池 順造
, 當麻 博文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-161759
公開番号（公開出願番号）：特開2014-060145
出願日： 2013年08月02日
公開日（公表日）： 2014年04月03日
要約：
【課題】ヘリウム環境下での電子顕微鏡撮像を容易とするシステムを提供する。【解決手段】電子顕微鏡100に於いて、真空チャンバー104の外側の光軸106付近にヘリウム高濃度化可能なボリューム部116を設け、ヘリウム供給アセンブリー110により撮像時にヘリウムを選択可能に供給する。試料122は真空チャンバー104の外部にあるステージ124に支持され、並進移動アセンブリー124により撮像時にヘリウム高濃度化可能なボリューム部116に出入りできる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電子顕微鏡撮像システムであって、当該システムは、
電子顕微鏡を有し、該電子顕微鏡は、電子カラムと真空チャンバーとを含み、かつ、光軸を持っており、
ヘリウム供給アセンブリーを有し、該ヘリウム供給アセンブリーは、前記真空チャンバーの外側の光軸の付近にあるヘリウム高濃度化可能なボリューム部にヘリウムを選択可能に供給するためのものであり、
試料支持ステージを有し、該試料支持ステージは、前記真空チャンバーの外側にあり、前記真空チャンバーの外側の前記電子顕微鏡によって撮像されるべき試料を支持するように構成され、かつ、該試料支持ステージは並進移動アセンブリーを含み、該並進移動アセンブリーは、前記試料が前記ヘリウム高濃度化可能なボリューム部に入りかつそこから出る該試料の相対的な並進移動を提供するように作動する、
前記電子顕微鏡撮像システム。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01J37/20 D
, H01J37/20 F
, H01J37/28 B
5C001AA03
, 5C001AA04
, 5C001BB03
, 5C001CC04
, 5C033UU03
, 5C033UU10
