特許
J-GLOBAL ID:201403019403656893
ガラス基板の製造方法及びそれに用いる装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大塚 武史
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-088123
公開番号(公開出願番号):特開2014-210682
出願日: 2013年04月19日
公開日(公表日): 2014年11月13日
要約:
【課題】熱収縮が低減されたガラス基板を経済的に優位に製造する装置を提供する。【解決手段】熱処理炉500内においてガラス基板Gの平面が鉛直方向であって、かつ、互いに隣接するガラス基板Gの平面が平行状態を維持しつつ、ガラス基板を一時的に保持する縦保持部410,横保持部420と、熱処理炉500の入り口近傍および出口近傍に設けられたガラス基板を時間的に等間隔で連続的に一枚ずつ受け渡す受渡装置370,470と、ガラス基板Gを縦保持部410,横保持部420で保持した状態で熱処理部の入り口から出口に向けて所定速度で進行させる移動手段と、縦保持部410,横保持部420を熱処理炉の内外で循環させる循環機構と、を備えている。【選択図】図4
請求項(抜粋):
熔融ガラスを成形体の上部から溢れさせることにより成形体の下方においてシートガラス(板状ガラス)を成形する成形工程と、シートガラスを徐冷する冷却工程と、重力方向に伸びるシートガラスを所定の寸法に切断してガラス基板とする切断工程とを含むオーバーフローダウンドロー法によるガラス基板の製造方法であって、
さらに、前記ガラス基板内に残留する応力を緩和させるとともに、熱収縮率を低減させるために熱処理されるアニール工程を含み、
前記切断工程を経たガラス基板は、時間的に等間隔で連続的に一枚ずつ前記アニール工程へ搬入され、
前記アニール工程では、前記切断工程で切断されたガラス基板は、当該ガラス基板の平面が鉛直方向になるように保持されつつ、かつ、互いに隣接するガラス基板の平面が進行方向に向けて距離的に所定間隔をあけた平行状態を維持されて熱処理され、
前記アニール工程を経たガラス基板は、時間的に等間隔で連続的に一枚ずつ前記アニール工程から搬出されることを特徴とするガラス基板の製造方法。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (3件):
4G015CA01
, 4G015CB02
, 4G015CC01
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