特許

J-GLOBAL ID：201403020048156980

試料ホルダおよび試料ホルダを用いた観察方法

発明者： 岩永 俊之 ,  廣田 益久
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-194497
公開番号（公開出願番号）：特開2014-049430
出願日： 2012年09月04日
公開日（公表日）： 2014年03月17日
要約：

【課題】 電子部品を試料として保持する試料ホルダを用いて、電圧が印加された状態の試料を顕微鏡で観察する際に、外部からの振動の影響を受けにくくする。【解決手段】 試料13を固定するための基板11と、試料13の複数の導体に電圧を印加するための電力供給源と、複数の導体と電力供給源とを電気的に接続するための配線12と、を備える試料ホルダ10を用いて観察する。電力供給源が、顕微鏡の外部に設置されるのではなく、試料ホルダ10そのものに設けられる。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

複数の導体の間に絶縁体のある構造を含む電子部品を試料として保持するとともに、電圧が印加された状態の前記試料を顕微鏡で観察するために用いる試料ホルダであって、 前記試料を固定するための基板と、 複数の前記導体に電圧を印加するため、前記基板に設けられた電力供給源と、 複数の前記導体と前記電力供給源とを電気的に接続するため、前記基板に設けられた配線と、 を備えることを特徴とする試料ホルダ。

IPC (1件)：

H01J 37/20

FI (2件)：

H01J37/20 A ,  H01J37/20 F

Fターム (4件)：

5C001AA01 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C001DD03