特許

J-GLOBAL ID：201403020503062565

触覚センサ

発明者： 下山 勲 ,  松本 潔 ,  野田 堅太郎
出願人/特許権者： 下山 勲 ,  松本 潔 ,  野田 堅太郎
代理人 (3件)： 吉田 正義 ,  今枝 弘充 ,  梅村 裕明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-013677
公開番号（公開出願番号）：特開2010-169597
特許番号：特許第5364886号
出願日： 2009年01月23日
公開日（公表日）： 2010年08月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】弾性体と、前記弾性体内に支持されたセンサ部と、前記センサ部を覆う保護膜とを備え、前記保護膜によって前記センサ部の周囲に内部空間が形成されていることを特徴とする触覚センサ。

IPC (2件)：

G01L 5/00 ( 200 6.01) ,  B25J 19/02 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01L 5/00 G ,  B25J 19/02

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 3次元構造体およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-010290   出願人：国立大学法人東京大学, 松下電器産業株式会社
• 特開昭60-034293
  
• 半導体加速度センサ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-183707   出願人：三菱電機株式会社
• 微小液体流量検出素子、及び同素子を用いた微小液体供給装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-320600   出願人：キヤノン株式会社

審査官引用 (4件)

• 3次元構造体およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-010290   出願人：国立大学法人東京大学, 松下電器産業株式会社
• 特開昭60-034293
  
• 半導体加速度センサ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-183707   出願人：三菱電機株式会社
• 微小液体流量検出素子、及び同素子を用いた微小液体供給装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-320600   出願人：キヤノン株式会社