特許
J-GLOBAL ID:201403022856428612
光導波路及び光導波路の検査方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
大谷 保
, 平澤 賢一
, 虎山 滋郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-070643
公開番号(公開出願番号):特開2014-194473
出願日: 2013年03月28日
公開日(公表日): 2014年10月09日
要約:
【課題】光導波路の外形加工の位置とコアパターンの位置のずれ量や外形幅を容易に測定することができる光導波路を提供する。【解決手段】本発明の光導波路10はクラッド層15とクラッド層15に埋設された光信号伝送用コアパターン30を有する光導波路であって、光導波路10の少なくとも一部の最外周部にダミーコアパターン50が配置されてなる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
クラッド層と前記クラッド層に埋設された光信号伝送用コアパターンを有する光導波路であって、前記光導波路の少なくとも一部の最外周にダミーコアパターンが配置されてなる光導波路。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (24件):
2H147BA11
, 2H147BD01
, 2H147BG02
, 2H147BG07
, 2H147BG11
, 2H147BG17
, 2H147CA13
, 2H147CD02
, 2H147EA09C
, 2H147EA10C
, 2H147EA13C
, 2H147EA14C
, 2H147EA16A
, 2H147EA16B
, 2H147EA16C
, 2H147EA17C
, 2H147EA20C
, 2H147EA22C
, 2H147FC08
, 2H147FC09
, 2H147FD12
, 2H147FD14
, 2H147FD19
, 2H147GA13
引用特許:
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