特許

J-GLOBAL ID：201403023190280425

三次元プロファイル取得装置、パターン検査装置及び三次元プロファイル取得方法

発明者： 村上 知広
出願人/特許権者： インスペック株式会社
代理人 (2件)： 恩田 誠 ,  恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-110188
公開番号（公開出願番号）：特開2014-228486
出願日： 2013年05月24日
公開日（公表日）： 2014年12月08日
要約：

【課題】被測定面の高さ分布を表す三次元プロファイルを比較的簡単な処理で比較的高速に取得できる三次元プロファイル取得装置、パターン検査装置、三次元プロファイル取得方法を提供する。【解決手段】三次元プロファイル取得装置21は、カメラ41を有する干渉計42と、光路の異なる2つの光に分岐させるハーフミラー48と参照ミラー49とを有する走査部55と、カメラ41が撮像した画像を基に画像解析により干渉フリンジのピークが現れた走査位置(Z位置)を画素毎に検出し、三次元プロファイルPDを生成する。発光制御部65は発光駆動部61を介して光源43を、干渉フリンジと同周期かつ同位相で点滅させる。また、カメラ41が配線基板12の被測定面12aを撮像する際の露光時間は、干渉フリンジの周期の自然数倍に設定されている。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

スペクトル幅の広い光を発する光源と、 被測定面に対して交差する方向に走査可能に構成され、前記光源からの光を前記被測定面で反射する測定光と参照ミラーで反射する参照光とに分離し、当該分離した二つの光の反射光を合流させて光路差に基づく干渉フリンジを発生可能な走査部と前記二つの反射光の像を前記干渉フリンジの周期以上の露光時間で撮像する撮像部とを有する干渉計と、 前記走査部を走査させるとともに前記光源を前記干渉フリンジと同じ周期で点滅させる制御部と、 前記撮像部が撮像した複数の画像を基に前記走査部の走査方向における干渉フリンジのピーク位置を画素毎に検出し、当該画素毎の前記ピーク位置を基に三次元プロファイルを生成する画像解析部と、 を備えた三次元プロファイル取得装置。

IPC (5件)：

G01B 11/24 ,  G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  G01B 11/02 ,  G01B 9/02

FI (5件)：

G01B11/24 D ,  G01N21/956 B ,  G01B11/30 A ,  G01B11/02 G ,  G01B9/02

Fターム (35件)：

2F064AA09 ,  2F064EE01 ,  2F064FF00 ,  2F064FF03 ,  2F064GG22 ,  2F064GG42 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F065AA24 ,  2F065AA49 ,  2F065AA53 ,  2F065BB18 ,  2F065CC01 ,  2F065CC21 ,  2F065CC25 ,  2F065FF42 ,  2F065FF52 ,  2F065GG07 ,  2F065GG24 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL22 ,  2F065NN02 ,  2F065PP03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ29 ,  2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051AB05 ,  2G051BC01 ,  2G051CD01 ,  2G051CD06 ,  2G051EA16