特許
J-GLOBAL ID：201403023715486933
電子ビーム蒸着用材料容器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
溝上 哲也
, 岩原 義則
, 山本 進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-085831
公開番号（公開出願番号）：特開2014-208863
出願日： 2013年04月16日
公開日（公表日）： 2014年11月06日
要約：
【課題】導電性の確保と濡れ上がりの抑制とコーティング層の剥離抑制の全てが可能となるハースライナーを提供する。【解決手段】材料容器(ハースライナー6A)の表面にタイル状のコーティング層が設けられ、コーティング層は、材料容器及びコーティング層の熱膨張の差を考慮すると共に該熱膨張時に濡れ上がりの経路を狭まる間隔及び配置とされたタイル状のコーティング層6cを設けることとした。【効果】濡れ上がろうとする蒸着材料はコーティング層により経路が阻まれ、該コーティング層の各タイル同士が熱膨張時の応力で剥離することが抑制される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
加速した電子を蒸着材料に照射し、加熱して蒸発させた蒸着材料を基板の表面に付着させて薄膜を形成する電子ビーム蒸着用材料容器であって、
前記材料容器の表面にタイル状のコーティング層が設けられ、コーティング層は、材料容器及びコーティング層の熱膨張の差を考慮すると共に該熱膨張時に濡れ上がりの経路を狭める間隔及び配置とされたことを特徴とする電子ビーム蒸着用材料供給容器。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
4K029AA01
, 4K029AA25
, 4K029DB02
, 4K029DB07
, 4K029DB11
, 4K029DB21
, 4K029JA10
, 4K029KA03
