特許

J-GLOBAL ID：201403023783889086

圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計

発明者： 小林 高志
出願人/特許権者： セイコーインスツル株式会社
代理人 (3件)： 久原 健太郎 ,  内野 則彰 ,  木村 信行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-207260
公開番号（公開出願番号）：特開2014-064117
出願日： 2012年09月20日
公開日（公表日）： 2014年04月10日
要約：

【課題】落下等による衝撃が伝わった場合であっても、振動腕部にクラックやチッピング等が発生することを抑制でき、良好な振動特性を確保すること。【解決手段】ベース部材5、該ベース部材との間にキャビティCを形成するリッド部材と、を有するパッケージと、実装面11aにマウントされ、キャビティ内に収容された圧電振動片3と、を備え、圧電振動片は、一対の振動腕部30、31と、該一対の振動腕部の基端部を片持ち支持すると共に実装面にマウントされる基部32と、を備え、実装面には振動腕部が厚み方向Tに変位した際に先端部30a、31aとの接触を回避する凹部40が形成され、凹部における開口縁部には、実装面に対して向かい合う振動腕部の主面が接触する接触部41と、該主面と振動腕部の2つの側面とが交わった2本の稜線部36のうちの少なくとも1本の稜線部との接触を回避する逃げ部42と、が形成されている圧電振動子1を提供する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ベース部材と、 前記ベース部材に重ね合わされて接合されると共に該ベース部材との間に気密封止されたキャビティを形成するリッド部材と、 一対の振動腕部と、該一対の振動腕部の長さ方向における基端部を一体的に支持する基部とを有し、前記キャビティ内において前記ベース部材の実装面上に実装される圧電振動片と、 を備える圧電振動子において、 前記ベース部材の実装面において前記圧電振動片の先端部と対向する領域には凹部が形成されていると共に、前記ベース部材の実装面の法線方向から見た場合に、前記凹部の開口縁部のうち前記圧電振動片の基端部側に配置されている開口縁部には、前記振動腕部の稜線部に対応する部分に前記基端部側に侵食する逃げ部が形成されていることを特徴とする圧電振動子。

IPC (5件)：

H03H 9/02 ,  H03H 9/10 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18

FI (8件)：

H03H9/02 A ,  H03H9/02 L ,  H03H9/10 ,  H01L41/08 L ,  H01L41/08 C ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/08 K

Fターム (11件)：

5J108BB01 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE18 ,  5J108GG03 ,  5J108GG09 ,  5J108GG11 ,  5J108GG15 ,  5J108GG16