特許

J-GLOBAL ID：201403023902449472

荷電粒子線装置および荷電粒子線の偏向制御装置

発明者： 佐々木 智世
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (3件)： 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-130351
公開番号（公開出願番号）：特開2013-254673
出願日： 2012年06月08日
公開日（公表日）： 2013年12月19日
要約：

【課題】本発明は、ブランキング時にビームが視野以外に照射されることによる電界の偏りを抑制する荷電粒子線装置の提供を目的とする。【解決手段】上記目的を達成するために本発明では、荷電粒子源から放出される荷電粒子線を走査する走査偏向器と、前記荷電粒子線をブランキングするブランキング偏向器と、当該ブランキング偏向器を制御する制御装置を備えた荷電粒子線装置であって、当該制御装置は、前記走査偏向器による走査線単位で、前記ブランキング偏向器5によるブランキング方向を変化させる荷電粒子線装置を提案する。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

荷電粒子源から放出される荷電粒子線を走査する走査偏向器と、前記荷電粒子線をブランキングするブランキング偏向器と、当該ブランキング偏向器を制御する制御装置を備えた荷電粒子線装置において、 当該制御装置は、前記走査偏向器による走査線単位で、前記ブランキング偏向器によるブランキング方向を変化させることを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (4件)：

H01J 37/147 ,  H01J 37/305 ,  H01J 37/09 ,  H01J 37/20

FI (6件)：

H01J37/147 B ,  H01J37/147 C ,  H01J37/147 Z ,  H01J37/305 A ,  H01J37/09 A ,  H01J37/20 H

Fターム (11件)：

5C001CC04 ,  5C001CC06 ,  5C033BB03 ,  5C033FF01 ,  5C033FF09 ,  5C033GG01 ,  5C033GG07 ,  5C033UU01 ,  5C033UU03 ,  5C034BB03 ,  5C034BB10