特許
J-GLOBAL ID：201403024583268350
描画装置、および物品の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
, 下山 治
, 永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-264738
公開番号（公開出願番号）：特開2014-110351
出願日： 2012年12月03日
公開日（公表日）： 2014年06月12日
要約：
【課題】基板に照射される荷電粒子線の位置の正確さの点で有利な、複数の荷電粒子線で基板に描画する装置を提供する。【解決手段】複数のブランカをそれぞれ含む複数のブランカ列を走査方向に配列してなるブランカアレイ6と、前記ブランカアレイでブランキングされなかった荷電粒子線を一括偏向して前記基板上で前記走査方向に走査する偏向器8と、前記ブランカ列を単位として周期をもったタイミングで前記ブランカアレイを順次駆動する駆動回路と、描画すべきパターンのデータに基づいて、前記タイミングに対応して前記走査方向において互いに位置がずれた複数の描画データを生成する生成部と、前記生成部により生成された前記複数の描画データを記憶する記憶部と、を有し、前記複数の描画データにおける該描画データの数は、前記複数のブランカ列における該ブランカ列の総数より少ない。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数の荷電粒子線で基板に描画を行う描画装置であって、
複数のブランカをそれぞれ含む複数のブランカ列を走査方向に配列してなるブランカアレイと、
前記ブランカアレイでブランキングされなかった荷電粒子線を一括偏向して前記基板上で前記走査方向に走査する偏向器と、
前記ブランカ列を単位として周期をもったタイミングで前記ブランカアレイを順次駆動する駆動回路と、
描画すべきパターンのデータに基づいて、前記タイミングに対応して前記走査方向において互いに位置がずれた複数の描画データを生成する生成部と、
前記生成部により生成された前記複数の描画データを記憶する記憶部と、
を有し、
前記複数の描画データにおける該描画データの数は、前記複数のブランカ列における該ブランカ列の総数より少なく、
前記駆動回路は、前記複数の描画データに基づいて前記ブランカアレイを駆動し、かつ、前記総数より少ない複数のブランカ列に関して、前記複数の描画データのうちの1つの描画データに基づいて前記ブランカアレイを駆動する、
ことを特徴とする描画装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, H01J 37/305
H01L21/30 541D
, H01L21/30 541W
, H01J37/305 B
5C034BB03
, 5C034BB04
, 5C034BB07
, 5F056AA07
, 5F056CA05
, 5F056CB05
, 5F056CB13
, 5F056CB15
, 5F056CC02
, 5F056CD02
, 5F056EA03
, 5F056EA04
, 5F056EA06
