特許

J-GLOBAL ID：201403024602404988

形状測定装置及び形状測定方法

発明者： 藤原 久利
出願人/特許権者： アズビル株式会社
代理人 (4件)： 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史 ,  江口 昭彦 ,  内藤 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-032461
公開番号（公開出願番号）：特開2014-163698
出願日： 2013年02月21日
公開日（公表日）： 2014年09月08日
要約：

【課題】簡単な装置構成でありながら、広い高さ範囲を高い精度で測定することが可能な形状測定装置、及び形状測定方法を提供すること。【解決手段】この形状測定装置1は、 被測定物4の表面Sに照射する光を発生させる光源2と、 表面Sに格子パターンが投影されるよう、光源2と被測定物4との間に配置される格子3と、 表面Sに投影された格子パターンが変化するように、格子3を移動させる格子駆動装置35と、 表面Sに投影された格子パターンを撮像し、その光強度分布を取得するイメージセンサ6と、を備えている。 格子3は、光源2からの光が透過する透光部3Aと、光源2からの光を遮光する遮光部3Bとが、所定方向に沿って交互に並んでおり、 当該所定方向に沿った遮光部3Bの幅が、同方向に沿った透光部3Aの幅のn倍(nは3以上の奇数である)となるように構成されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

物体の表面に投影された格子パターンに基づいて、当該物体の表面形状を計測する形状測定装置において、 物体の表面に照射する光を発生させる光源と、 前記物体の表面に格子パターンが投影されるよう、前記光源と前記物体との間に配置される格子と、 前記物体の表面に投影された前記格子パターンが変化するように、前記格子を移動させる格子移動手段と、 前記物体の表面に投影された前記格子パターンを撮像し、その光強度分布を取得する撮像手段と、を備え、 前記格子は、前記光源からの光が透過する透光部と、前記光源からの光を遮光する遮光部とが、所定方向に沿って交互に並んでおり、 前記所定方向に沿った前記透光部の幅を第一幅とし、前記所定方向に沿った前記遮光部の幅を第二幅としたときにおいて、前記第一幅と前記第二幅のうち一方が、他方のn倍(nは3以上の奇数である)となるように構成されていることを特徴とする形状測定装置。

IPC (1件)：

G01B 11/25

FI (1件)：

G01B11/25 H

Fターム (23件)：

2F065AA06 ,  2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065DD02 ,  2F065DD03 ,  2F065GG03 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065HH03 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL41 ,  2F065LL59 ,  2F065MM14 ,  2F065NN05 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU08