特許
J-GLOBAL ID：201403025024538301

基板搬送装置

発明者：
佐藤 英樹

佐藤 英樹 について


出願人/特許権者：
株式会社フジ機工

株式会社フジ機工 について


代理人 (1件)： 窪田 卓美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-097495
公開番号（公開出願番号）：特開2014-218324
出願日： 2013年05月07日
公開日（公表日）： 2014年11月20日
要約：
【課題】 上下一対の上ローラ2、下ローラ3に挟持されて基板を搬送する搬送装置において、上ローラ2の自重により、基板にダメージを与えることのない搬送装置の提供。【解決手段】 下ローラ3の軸3bを固定し、上ローラ2の軸2bを昇降手段6aを介して、上下動自在に支持する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
装置本体(1)と、 その装置本体(1)の内部で、搬送方向に離間して並列され、上下に対向する上ローラ(2)と下ローラ(3)の多数の対と、 装置本体(1)に固定されて、各下ローラ(3)の両端部を支持する一対の下ローラ支持体(4)と、 装置本体(1)に対して上下動自在に取付つけられ、各上ローラ(2)の両端を支持する一対の上ローラ支持体(5)と、を具備し、 被搬送用の基板が前記下ローラ(3)と上ローラ(2)との間を搬送され、 下ローラ(3)と上ローラ(2)との隙間がその基板の厚みに略整合するように、一対の各上ローラ支持体(5)が昇降手段(6a)を介し、所定高さ移動できるように構成して、全ての上ローラ(2)の両端を所定寸法昇降させるように構成したことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3件)：
B65G 49/06 ,  H01L 21/677 ,  B65G 13/00
FI (3件)：
B65G49/06 Z ,  H01L21/68 A ,  B65G13/00 A
Fターム (15件)：
3F033BB02 ,  3F033BB16 ,  3F033BC02 ,  5F131AA13 ,  5F131BA14 ,  5F131BA17 ,  5F131BA37 ,  5F131CA09 ,  5F131CA23 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DB93 ,  5F131DC22 ,  5F131KA11 ,  5F131KB32
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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