特許
J-GLOBAL ID:201403025268300340
焼結材料およびこれを用いた取付方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人深見特許事務所
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-537790
公開番号(公開出願番号):特表2014-503936
出願日: 2011年11月02日
公開日(公表日): 2014年02月13日
要約:
マルチチップ構成要素および単一構成要素についてのダイ取付けのための方法は、基板上またはダイの裏面上に焼結ペーストを印刷するステップを含み得る。印刷するステップは、ステンシル印刷、スクリーン印刷または分配プロセスを含み得る。ペーストは、ダイシングの前にウェハ全体の裏面に印刷され得るか、または、個々のダイの裏面に印刷され得る。焼結膜も作製され、ウェハ、ダイまたは基板に転写され得る。後焼結ステップによってスループットを高め得る。
請求項(抜粋):
組成物であって、
約0.001マイクロメートル〜約10マイクロメートルのd50範囲を有し、約30wt%〜約95wt%のペーストを含む金属粉と、
約50°C〜約170°Cの軟化点を有し、約0.1wt%〜約5wt%のペーストを含むバインダと、
少なくともバインダを溶解するのに十分な量の溶剤とを含む、組成物。
IPC (5件):
H01B 1/22
, H01B 5/14
, H01B 13/00
, H01L 21/52
, H01B 1/00
FI (7件):
H01B1/22 A
, H01B5/14 Z
, H01B13/00 503C
, H01B13/00 503D
, H01L21/52 D
, H01L21/52 E
, H01B1/00 E
Fターム (20件):
5F047AA11
, 5F047AA13
, 5F047AA17
, 5F047BA00
, 5F047BA52
, 5F047BA53
, 5F047BB11
, 5F047BB16
, 5F047BB18
, 5F047BB19
, 5G301DA02
, 5G301DA03
, 5G301DA04
, 5G301DA05
, 5G301DA06
, 5G301DA11
, 5G301DA42
, 5G301DD01
, 5G307GA02
, 5G323CA03
引用特許:
引用文献:
審査官引用 (4件)
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総説 エポキシ樹脂 基礎編I, 20031119, 初版, 第32頁
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総説 エポキシ樹脂 基礎編I, 20031119, 初版, 第32頁
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総説 エポキシ樹脂 基礎編I, 20031119, 初版, 第32頁
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総説 エポキシ樹脂 基礎編I, 20031119, 初版, 第32頁
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