特許
J-GLOBAL ID：201403025689036072
波面収差測定方法、波面収差測定装置、及び光学系の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
阿部 琢磨
, 黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-253307
公開番号（公開出願番号）：特開2014-102119
出願日： 2012年11月19日
公開日（公表日）： 2014年06月05日
要約：
【課題】 被検光学系の波面収差を高精度に測定すること。【解決手段】 波面収差測定方法は、被検光学系を透過した光をレンズアレイに入射させて複数のスポット像を形成させ、スポット像の位置を計測する。計測されたスポット像の位置に基づいて、被検光学系の波面収差を演算する。スポット像の位置を計測する際、レンズアレイを構成する一部のレンズを遮光してスポット像の計測を行う。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被検光学系を透過した光をレンズアレイに入射させて、前記レンズアレイの各レンズを透過した光により形成されるスポット像の位置を計測することにより、前記被検光学系の波面収差を測定する波面収差測定方法であって、
前記レンズアレイの一部のレンズを透過する光を遮りながら、前記レンズアレイの他のレンズを透過した光によって形成されるスポット像の位置を計測するステップを含むことを特徴とする波面収差測定方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (1件)：
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