特許
J-GLOBAL ID:201403026018381774
粒子検出システム及び粒子検出方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
, 江口 昭彦
, 内藤 和彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-018611
公開番号(公開出願番号):特開2014-149240
出願日: 2013年02月01日
公開日(公表日): 2014年08月21日
要約:
【課題】一台の粒子検出装置で、気中の粒子と、液中の粒子と、を検出可能な粒子検出システムを提供する。【解決手段】気体に含まれる粒子に光を照射して発生する散乱光及び蛍光の少なくとも一方を検出する気中粒子検出装置100と、検査対象気体に含まれる粒子を気中粒子検出装置100に導入するための第1の流路300aと、検査対象液体からエアロゾルを生成するエアロゾル生成部200と、エアロゾルに含まれる粒子を気中粒子検出装置100に導入するための第2の流路300bと、気中粒子検出装置100に第1の流路300a及び第2の流路300bのいずれか一方を連通させる流路選択機構Vと、第1の流路300a及び第2の流路300bのいずれが気中粒子検出装置100に連通しているのかを監視する連通流路監視部113と、を備える粒子検出システム。【選択図】図1
請求項(抜粋):
気体に含まれる粒子に光を照射して発生する散乱光及び蛍光の少なくとも一方を検出する気中粒子検出装置と、
検査対象気体に含まれる粒子を前記気中粒子検出装置に導入するための第1の流路と、
検査対象液体からエアロゾルを生成するエアロゾル生成部と、
前記エアロゾルに含まれる粒子を前記気中粒子検出装置に導入するための第2の流路と、
前記気中粒子検出装置に前記第1の流路及び前記第2の流路のいずれか一方を連通させる流路選択機構と、
前記第1の流路及び前記第2の流路のいずれが前記気中粒子検出装置に連通しているのかを監視する連通流路監視部と、
を備える、粒子検出システム。
IPC (1件):
FI (1件):
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