特許

J-GLOBAL ID：201403026389385349

めっき膜の形成方法及びコーティング溶液

発明者： コルドニエ クリストファー ,  本間 英夫
出願人/特許権者： 学校法人関東学院
代理人 (3件)： 伊藤 進 ,  長谷川 靖 ,  篠浦 治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-009543
特許番号：特許第5405677号
出願日： 2013年01月22日
要約：

【課題】大気中かつ溶液プロセスで、ガラス基板10上へ密着性の高い銅めっき膜11、12を形成できる銅めっき膜の形成方法を提供する。 【解決手段】実施形態の銅めっき膜の形成方法は、ガラス基板10に銅めっき膜11、12を成膜するめっき工程と、銅めっき膜11、12を覆う保護膜13を塗布する保護膜形成工程と、500°Cで大気中熱処理を行う熱処理工程と、保護膜13を剥離する剥離工程と、を具備する。 【選択図】図1A

請求項（抜粋）：

【請求項1】 無機材料からなる基板にめっき膜を成膜するめっき工程と、 前記めっき膜を覆う保護膜を塗布する保護膜形成工程と、 350°C〜550°C以下の温度で大気中熱処理を行う熱処理工程と、 前記保護膜を剥離する剥離工程と、を具備することを特徴とするめっき膜の形成方法。

IPC (3件)：

H05K 3/38 ( 200 6.01) ,  H05K 3/22 ( 200 6.01) ,  C25D 5/48 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H05K 3/38 D ,  H05K 3/22 Z ,  C25D 5/48