特許
J-GLOBAL ID:201403026821112910
高温用超音波センサ
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (3件):
宮崎 昭夫
, 石橋 政幸
, 緒方 雅昭
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-052874
公開番号(公開出願番号):特開2014-178231
出願日: 2013年03月15日
公開日(公表日): 2014年09月25日
要約:
【課題】ニオブ酸リチウム(LN)単結晶からなる圧電振動子を備え、高出力での超音波発生が可能であって高温域で使用可能であり、結晶における割れの発生が防止された超音波センサを提供する。【解決手段】圧電振動子1は、LNの結晶のY軸に直交する面をX軸を中心にして36°±2°回転して得られる面(Y軸36°カット面)を出力面とする。超音波センサは、さらに、チタンからなる遅延材3と、出力面に遅延材3の一方の面を接合させる接合層2と、を備える。接合層2は、銀とフリットガラスとからなり、フリットガラスの線膨張率を5×10-6 K-1から15×10-6 K-1の範囲とする。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
ニオブ酸リチウムからなり、ニオブ酸リチウムの結晶のY軸に直交する面をX軸を中心にして36°±2°回転して得られる面を出力面とする圧電振動子と、
チタンからなる遅延材と、
前記出力面に前記遅延材の一方の面を接合させる接合層と、
を備え、
前記接合層は、銀とフリットガラスとからなり、
前記フリットガラスの線膨張率が5×10-6 K-1から15×10-6 K-1の範囲にある、超音波センサ。
IPC (3件):
G01F 1/66
, H04R 17/00
, H04R 31/00
FI (3件):
G01F1/66 A
, H04R17/00 330Y
, H04R31/00 330
Fターム (13件):
2F035DA05
, 2F035DA19
, 2G047AA01
, 2G047BC02
, 2G047CA01
, 2G047EA21
, 2G047GB32
, 2G047GB33
, 5D019AA18
, 5D019BB03
, 5D019BB12
, 5D019FF02
, 5D019HH03
引用特許:
出願人引用 (3件)
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超音波送受波器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2008-200971
出願人:パナソニック株式会社
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気体用超音波流量計
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-113982
出願人:大西一正
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高温流体測定用超音波センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-010045
出願人:株式会社カイジョー
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