特許

J-GLOBAL ID：201403027334081193

電子線励起型光源

発明者： 片岡 研 ,  山口 真典 ,  前岨 剛
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
代理人 (1件)： 五十畑 勉男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-190982
公開番号（公開出願番号）：特開2014-049591
出願日： 2012年08月31日
公開日（公表日）： 2014年03月17日
要約：

【課題】光透過窓を有する真空容器と、真空容器内部において、表面が光透過窓に対向するよう配置された半導体発光素子と、半導体発光素子に電子線を照射する電子線源とを備えてなる電子線励起型光源装置において、電子線が半導体発光素子に入射することによって半導体発光素子の表面が帯電して、発光が不安定になったり、信頼性が低下したりすることのないような構造を提供する。【解決手段】電子線源30が、半導体発光素子20の光放射面に対して側方から電子線を照射するように配置され、半導体発光素子20は、基板上に電子線入射方向に対して直交方向に延在する複数の突条部を備えてなり、突条部は、断面が三角形状であって、電子線源30側の電子が入射するテーパー面に発光層を備えるとともに、電子線源30とは反対側のテーパー面に帯電防止膜を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光透過窓を有する真空容器と、 前記真空容器内部において、表面が前記光透過窓に対向するよう配置された半導体発光素子と、 該半導体発光素子に電子線を照射する電子線源と、 を備えてなる電子線励起型光源装置において、 前記電子線源が、前記半導体発光素子の光放射面に対して側方から電子線を照射するように配置され、 前記半導体発光素子は、基板上に電子線入射方向に対して直交方向に延在する複数の突条部を備えてなり、 該突条部は、一対のテーパー面を有し、前記電子線源側の電子が入射するテーパー面に発光層を備えるとともに、前記電子線源とは反対側のテーパー面に帯電防止膜を備えたことを特徴とする電子線励起型光源装置。

IPC (1件)：

H01L 33/24

FI (1件)：

H01L33/00 174

Fターム (5件)：

5F141CA05 ,  5F141CA40 ,  5F141CA65 ,  5F141CA74 ,  5F141FF16