ポジ型感光性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-051217
公開番号（公開出願番号）：特開2014-178400
出願日： 2013年03月14日
公開日（公表日）： 2014年09月25日
要約：

【課題】硬化後の遮光性に優れ、高感度かつ現像時膜減り量が少ないポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(a)一般式(1)で表される構造を主成分とする樹脂、(b)水酸基を3個以上有するポリフェノール化合物、(c)キノンジアジド化合物および(d)溶剤を含有し、(a)一般式(1)で表される構造を主成分とする樹脂100重量部に対して(b)ポリフェノール化合物が1〜20重量部、(c)キノンジアジド化合物が1〜50重量部であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。(一般式(1)中、R1、R2はそれぞれ同じでも異なっていてもよく、炭素数2以上の2〜8価の有機基を示す。)【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(a)一般式(1)で表される構造を主成分とする樹脂、(b)一般式(2)で表される化合物、(c)キノンジアジド化合物および(d)溶剤を含有し、(a)一般式(1)で表される構造を主成分とする樹脂100重量部に対して(b)一般式(2)で表される化合物が1〜20重量部、前記(c)キノンジアジド化合物が1〜50重量部であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/004 , G03F 7/023 , H01L 21/027 , C08G 73/10

FI (4件)：

G03F7/004 501 , G03F7/023 , H01L21/30 502R , C08G73/10

Fターム (63件)：

2H125AC17 , 2H125AE04P , 2H125AF03P , 2H125AF04P , 2H125AF05P , 2H125AM73P , 2H125AM74P , 2H125AM75P , 2H125AM80P , 2H125AM90P , 2H125AM93P , 2H125AN21P , 2H125AN54P , 2H125AN57P , 2H125BA01P , 2H125BA22P , 2H125BA28P , 2H125CA12 , 2H125CB06 , 2H125CC03 , 2H125CC21 , 4J043PA02 , 4J043PA19 , 4J043PB08 , 4J043PB15 , 4J043PB23 , 4J043QB15 , 4J043QB26 , 4J043QB31 , 4J043RA06 , 4J043RA35 , 4J043SA02 , 4J043SA06 , 4J043SA71 , 4J043SA85 , 4J043SB01 , 4J043SB03 , 4J043SB04 , 4J043TA03 , 4J043TA14 , 4J043TA22 , 4J043TA51 , 4J043TB03 , 4J043TB04 , 4J043UA121 , 4J043UA132 , 4J043UA141 , 4J043UA151 , 4J043UA152 , 4J043UB061 , 4J043UB062 , 4J043UB122 , 4J043UB231 , 4J043UB232 , 4J043VA022 , 4J043VA061 , 4J043VA062 , 4J043XA16 , 4J043XA19 , 4J043XB27 , 4J043YA06 , 4J043ZA53 , 4J043ZB22

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