真空冷却装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-022665
公開番号（公開出願番号）：特開2014-152982
出願日： 2013年02月07日
公開日（公表日）： 2014年08月25日
要約：

【課題】真空冷却装置において、省スペース化・低コスト化する。【解決手段】被冷却物を収容する処理槽2、処理槽2と真空配管9によって接続しており処理槽内の気体を吸引する真空発生装置1、真空発生装置1が処理槽2から吸引している気体を途中で冷却する熱交換器4・5、熱交換器で使用するための冷水を製造する冷水ユニット3を持ち、処理槽内を真空化することで被冷却物の冷却を行う真空冷却装置において、前記の熱交換器は、冷水ユニットによって製造した冷水をためる冷水タンク10内に前記熱交換器の伝熱管を設置した構成であって、冷水タンクの上部から冷水部分を貫通させて冷水タンクの下部まで達するようにしている第一熱交換器4と、冷水タンクの下部から冷水部分を貫通させて冷水タンクの上部まで達するようにしてる第二熱交換器5を設け、第一熱交換器と第二熱交換器は冷水タンクの下部で連結した構造とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被冷却物を収容する処理槽、処理槽と真空配管によって接続しており処理槽内の気体を吸引する真空発生装置、真空発生装置が処理槽から吸引している気体を途中で冷却する熱交換器、熱交換器で使用するための冷水を製造する冷水ユニットを持ち、処理槽内を真空化することで被冷却物の冷却を行う真空冷却装置において、前記の熱交換器は、冷水ユニットによって製造した冷水をためる冷水タンク内に前記熱交換器の伝熱管を設置した構成であって、冷水タンクの上部から冷水部分を貫通させて冷水タンクの下部まで達するようにしている第一熱交換器と、冷水タンクの下部から冷水部分を貫通させて冷水タンクの上部まで達するようにしてる第二熱交換器を設け、第一熱交換器と第二熱交換器は冷水タンクの下部で連結した構造であることを特徴とする真空冷却装置。

IPC (2件)：

F25D 7/00 , F25D 17/02

FI (2件)：

F25D7/00 A , F25D17/02 304

Fターム (7件)：

3L044AA04 , 3L044BA01 , 3L044CA04 , 3L044DB01 , 3L044DD04 , 3L044FA04 , 3L044KA04

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