特許
J-GLOBAL ID:201403030558379873

イメージングの方法と顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 須田 篤 ,  楠 修二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-260448
公開番号(公開出願番号):特開2014-106432
出願日: 2012年11月29日
公開日(公表日): 2014年06月09日
要約:
【課題】非線形効果を用いずに、径偏光および方位偏光ビームの重ね合わせによって差引ビームのふたつの強度分布の外側が一致する差引イメージングの方法を提供する。【解決手段】強度分布の異なる第一および第二の照明スポットの両者または試料のいずれかを走査し、第一の照明スポットで得られた画像と第二の照明スポットで得られた画像の差を試料の画像とするイメージングの方法において、第一の照明スポットは、少なくとも光軸上に強度を有し、第二の照明スポットは、少なくとも光軸を中心に凹型の強度分布を有し、光軸付近以外の部分で、第一および第二の照明スポットの強度分布、あるいは第一および第二の照明スポットの照明光学系と検出光学系とを含めた点像分布関数が一致している。【選択図】図3
請求項(抜粋):
強度分布の異なる第一および第二の照明スポットの両者または試料のいずれかを走査し、第一の照明スポットで得られた画像と第二の照明スポットで得られた画像の差を試料の画像とするイメージングの方法において、前記第一の照明スポットは、少なくとも光軸上に強度を有し、前記第二の照明スポットは、少なくとも光軸を中心に凹型の強度分布を有し、さらに、光軸付近以外の部分で、前記第一および第二の照明スポットの強度分布、あるいは前記第一および第二の照明スポットの照明光学系と検出光学系とを含めた点像分布関数が一致していることを特徴とするイメージングの方法。
IPC (2件):
G02B 21/06 ,  G02B 5/30
FI (2件):
G02B21/06 ,  G02B5/30
Fターム (8件):
2H052AA08 ,  2H052AA09 ,  2H052AC15 ,  2H052AC34 ,  2H149AA21 ,  2H149AA22 ,  2H149BA01 ,  2H149BA02
引用特許:
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る