特許

J-GLOBAL ID：201403031061840387

気中液中粒子判別方法及びその装置

発明者： 山▲崎▼ 信介
出願人/特許権者： アズビル株式会社
代理人 (4件)： 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史 ,  江口 昭彦 ,  内藤 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-231156
公開番号（公開出願番号）：特開2014-081338
出願日： 2012年10月18日
公開日（公表日）： 2014年05月08日
要約：

【課題】気体中の粒子(エアロゾル)と液体中の不溶性粒子とを短時間で検出すると共に稼働率を高めことが可能な粒子判別装置を提供する。【解決手段】気中液中粒子判別装置(1)は、検査対象空間からエアロゾルを導入して第1の気体流路(300a)に粒子を浮遊させる気体サンプリング手段(520)と、不溶性粒子を含む液体をエアロゾル化して第2の気体流路(300b)に不溶性粒子を浮遊させる液体サンプリング手段(200)と、気体中の粒子に励起光を照射して発生する散乱光及び蛍光のうち少なくともいずれかを検出する気中粒子判別手段(100)と、第1の気体流路又は第2の気体流路のエアロゾルを選択して気中粒子判別手段(100)に上記粒子として搬送する選択的搬送手段(V1,V2,130)と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

検査対象の空間から第1の気体流路にエアロゾルを導入する気体サンプリング手段と、 検査対象となる不溶性粒子を含む液体をエアロゾル化して第2の気体流路に導入する液体サンプリング手段と、 エアロゾルに励起光を照射して発生する散乱光及び蛍光のうち少なくともいずれかを検出する気中粒子判別手段と、 前記第1の気体流路又は前記第2の気体流路を選択して前記エアロゾルを前記気中粒子判別手段に搬送する選択的搬送手段と、 を備えることを特徴とする気中液中粒子判別装置。

IPC (2件)：

G01N 15/14 ,  G01N 21/64

FI (3件)：

G01N15/14 A ,  G01N15/14 C ,  G01N21/64 Z

Fターム (4件)：

2G043AA03 ,  2G043EA01 ,  2G043KA09 ,  2G043LA01