特許
J-GLOBAL ID：201403031183090940

受け台用横梁及びこれを適用した基板処理装置

発明者：
イ ソックジョン

イ ソックジョン について

, 
パク サンオ

パク サンオ について


出願人/特許権者：
エーピー システムズ インコーポレイテッド

エーピー システムズ インコーポレイテッド について


代理人 (1件)： 特許業務法人前田特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-085748
公開番号（公開出願番号）：特開2014-210432
出願日： 2014年04月17日
公開日（公表日）： 2014年11月13日
要約：
【課題】受け台用横梁の真直度と平面度を向上させることが可能で、かつ、受け台用横梁の軽量化を図って固有振動数及び変形誤差を改善することのできる受け台用横梁及びこれを適用した基板処理装置を提供する。【解決手段】受け台用横梁が、複数の板材状加工物を組み合わせて製造された四角柱状の金属製の筒状構造物と、前記筒状構造物の外部を囲むように複数回巻回して重ね合わせた補強材と、を備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
複数の板材状加工物を組み合わせて製造された四角柱状の金属製の筒状構造物と、 前記筒状構造物の外部を囲むように複数回巻回して重ね合わせた補強材と、 を備えることを特徴とする受け台用横梁。
IPC (1件)：
B29C 63/06
FI (1件)：
B29C63/06
Fターム (11件)：
4F211AA39 ,  4F211AB18 ,  4F211AD03 ,  4F211AD16 ,  4F211AD24 ,  4F211AH33 ,  4F211SA04 ,  4F211SC01 ,  4F211SD01 ,  4F211SD23 ,  4F211SJ29
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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