特許
J-GLOBAL ID：201403031793794450

液体デバイス

発明者：
下山 勲

下山 勲 について

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松本 潔

松本 潔 について

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グェン ビン キェム

グェン ビン キェム について


出願人/特許権者：
国立大学法人 東京大学

国立大学法人 東京大学 について


代理人 (1件)： 特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-032003
公開番号（公開出願番号）：特開2014-163963
出願日： 2013年02月21日
公開日（公表日）： 2014年09月08日
要約：
【課題】液体表面を保護する保護膜の静電気力による変形に応じて伸縮膜をより大きく変形させることで所望の機能を得る液体デバイスにおいて、信頼性の高い構造を提供する。【解決手段】基板3の上面には下部電極4が形成されている。基板3の下面には、保護膜10よりもヤング率が低い材質の伸縮膜8が、貫通穴14を覆うように貼り付けられる。液体6は、貫通穴14を満たし、下部電極4の上面から上側に膨出している。この液体6の上面が保護膜10で覆われ、保護膜10の上面に第2の電極12が形成される。電極4,12間に電圧を印加すると、両電極間の静電気力により上部電極12が保護膜10を下向きに押し、この押圧力が液体6を介して伸縮膜8を下向きに大きく膨らませる。この構造では、伸縮膜8上に電極等の他材料の機能構造を設けないので、製造時や使用時の伸縮膜の伸縮によりそれら機能構造に損傷を与えることがない。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1の電極を備えた基板であって、前記基板のおもて面上に設定された液体載置領域内に、前記基板のおもて面と裏面との間を貫通する流路が形成された基板と、 前記基板の前記裏面の前記流路の出口を覆う伸縮部と、前記伸縮部の周囲を取り囲み前記基板の前記裏面に対して直接又は間接的に固定された固定部と、を有し、少なくとも前記伸縮部が前記保護膜よりもヤング率の低い材質で形成されている伸縮膜と、 前記伸縮膜の前記伸縮部により覆われた前記流路内を満たし、前記基板の前記おもて面の前記液体載置領域上に膨出した液体であって、薄膜形成処理の際に蒸発せずに残る液体と、 前記液体載置領域上に膨出した前記液体の表面に、前記薄膜形成処理により形成された保護膜と、 前記保護膜の上面側に、前記保護膜に対して直接又は間接的に固定して形成された第2の電極と、 を有する液体デバイス。
IPC (3件)：
G02B 3/14 ,  G02B 1/06 ,  G02B 26/00
FI (3件)：
G02B3/14 ,  G02B1/06 ,  G02B26/00
Fターム (11件)：
2H141MA12 ,  2H141MA13 ,  2H141MB37 ,  2H141MB39 ,  2H141MB43 ,  2H141MB51 ,  2H141MB56 ,  2H141MC06 ,  2H141MD38 ,  2H141MF02 ,  2H141MF26
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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