特許
J-GLOBAL ID：201403031996142866
圧電圧力センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
村山 靖彦
, 志賀 正武
, 渡邊 隆
, 実広 信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-530291
公開番号（公開出願番号）：特表2014-526694
出願日： 2012年08月03日
公開日（公表日）： 2014年10月06日
要約：
半導体層(5)で部分的に覆われた2つの電極(3、4)を有する下部基板(2)と、半導体材料がその上に堆積された圧電材料及び2つの電極(3、4)と接触するように半導体層(5)と接触している、圧電材料で作られた圧電層(9)と、を含む圧力センサ(1)。電極(3、4)は、電源又は電極(3、4)間の半導体層(5)における電荷の移動によって生じる電流強度を測定するための装置に接続されるように意図され、前記電荷は圧力が前記圧電層(9)にかけられるときに生成される。
請求項（抜粋）：
圧電材料を含む圧力センサ(1)であって、半導体材料で作られた半導体層(5)で部分的に覆われた2つの電極(3、4)がその上に堆積された少なくとも1つの下部基板(2)と、半導体材料が圧電材料及び2つの電極(3、4)と接触するように前記半導体層(5)と接触している、圧電材料で作られた圧電層(9)と、を含み、前記圧電層は前記電極と組織的に接触しており、前記電極(3、4)は、電源又は前記電極(3、4)間の前記半導体層(5)における電荷(10)の移動によって生じる電流強度を測定するための装置に接続されることができ、前記電荷(10)は圧力が前記圧電層(9)にかけられるときに生成される、圧力センサ(1)。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
2F055AA40
, 2F055BB20
, 2F055CC59
, 2F055DD19
, 2F055EE23
, 2F055FF11
, 2F055GG11
