特許

J-GLOBAL ID：201403032422140985

レイアウト密度検証方法及びプログラム

発明者： 安部 真由美
出願人/特許権者： ルネサスエレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 家入 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-227755
公開番号（公開出願番号）：特開2014-081702
出願日： 2012年10月15日
公開日（公表日）： 2014年05月08日
要約：

【課題】レイアウト密度検証に伴う時間を削減できるレイアウト密度検証方法を提供する。【解決手段】レイアウト密度検証方法は、ウエハの検証領域A1を複数の第1の区画A2に細分化し、各々の第1の区画A2に対してレイアウト密度検証を実行し、レイアウト密度が基準値内か否かを判定し、レイアウト密度が基準値内から外れる第1の区画A2を特定し、レイアウト密度が基準値内から外れる第1の区画A2を含む第2の区画A3を設定し、第2の区画A3のみに対してパターン密度検証を実行する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ウエハの検証領域を複数の第1の区画に細分化し、各々の前記第1の区画に対してレイアウト密度検証を実行し、 レイアウト密度が基準値内か否かを判定し、前記レイアウト密度が前記基準値内から外れる第1の区画を特定し、 前記レイアウト密度が前記基準値内から外れる第1の区画を含む第2の区画を設定し、前記第2の区画のみに対してパターン密度検証を実行する、レイアウト密度検証方法。

IPC (2件)：

G06F 17/50 ,  H01L 21/82

FI (3件)：

G06F17/50 666Z ,  H01L21/82 C ,  H01L21/82 T

Fターム (16件)：

5B046AA08 ,  5B046BA04 ,  5B046JA01 ,  5F064BB40 ,  5F064DD09 ,  5F064DD10 ,  5F064DD12 ,  5F064DD13 ,  5F064DD14 ,  5F064EE15 ,  5F064EE16 ,  5F064EE17 ,  5F064GG03 ,  5F064HH01 ,  5F064HH06 ,  5F064HH10