特許

J-GLOBAL ID：201403032546138628

気液混合方法、気液混合装置および微細気泡を含む気液混合流体を用いた洗浄方法

発明者： 安永 望 ,  古川 誠司
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (7件)： 曾我 道治 ,  鈴木 憲七 ,  梶並 順 ,  大宅 一宏 ,  上田 俊一 ,  吉田 潤一郎 ,  飯野 智史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-219126
公開番号（公開出願番号）：特開2014-069160
出願日： 2012年10月01日
公開日（公表日）： 2014年04月21日
要約：

【課題】液体に気体が注入された気液混合流体中に発生させた気泡の融合、合一を抑制し、気液混合流体の全体量に対して、マイクロバブルおよびナノバブルといった微細気泡の気泡数をできるだけ多く、効率的に発生させることのできる気液混合方法、気液混合装置および微細気泡を含む気液混合流体を用いた洗浄方法を得る。【解決手段】液体に気体が注入された、大気圧以上に加圧された気液混合流体を大気圧未満に減圧した後、大気圧に昇圧することにより、微細気泡を生成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

液体に気体が注入された気液混合流体にかかる圧力を大気圧以上に調整し、前記大気圧以上に調整した前記気液混合流体を大気圧未満に減圧し、前記大気圧未満に減圧した前記気液混合流体を大気圧に昇圧することにより、微細気泡を生成する微細気泡生成ステップ を有することを特徴とする気液混合方法。

IPC (4件)：

B01F 3/04 ,  B01F 1/00 ,  B08B 3/10 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

B01F3/04 Z ,  B01F1/00 A ,  B08B3/10 Z ,  H01L21/304 647Z

Fターム (18件)：

3B201BB01 ,  3B201BB98 ,  3B201CD11 ,  4G035AA01 ,  4G035AB04 ,  4G035AB20 ,  4G035AE01 ,  4G035AE13 ,  5F157BB01 ,  5F157BB79 ,  5F157BC41 ,  5F157BD26 ,  5F157BD28 ,  5F157BD33 ,  5F157BD35 ,  5F157BE12 ,  5F157CF04 ,  5F157DB03