半導体装置および半導体装置の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：速水進治 , 天城聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-037924
公開番号（公開出願番号）：特開2014-165467
出願日： 2013年02月27日
公開日（公表日）： 2014年09月08日
要約：

【課題】金属膜が拡散領域に接して形成されると、金属膜と拡散領域との接触抵抗が大きくなる可能性がある。【解決手段】容量素子CPとともにメモリセルMCを構成する第1トランジスタTR1の第1接続部材CMは、シリサイド含有膜(シリサイド膜SC1)を含む。第1接続部材CMは、第1コンタクトホールCH1内に形成されている。第1コンタクトホールCH1は、絶縁膜(例えば、サイドウォールSW1を構成する絶縁膜DF2)を貫通して第1拡散領域DR1に達している。シリサイド含有膜(シリサイド膜SC1)の少なくとも一部はシリサイド化されている。シリサイド含有膜(シリサイド膜SC1)は、第1コンタクトホールCH1内に形成されたシリコンをシリサイド化することで形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に形成された第1ゲート電極と、前記第1ゲート電極の側方において前記基板に形成された第1拡散領域と、を備える第1トランジスタと、前記基板上に形成された第2ゲート電極と、前記第2ゲート電極の側方において前記基板に形成された第2拡散領域と、を備える第2トランジスタと、前記基板上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜を貫通して前記第1拡散領域に達する第1コンタクトホール内に形成された第1接続部材と、前記絶縁膜を貫通して前記第2拡散領域に達する第2コンタクトホール内に形成された第2接続部材と、前記第1トランジスタとともにメモリセルを構成し、かつ、前記第1拡散領域と電気的に接続される容量素子と、前記第2トランジスタとともにロジック回路を構成し、かつ、前記第2拡散領域と電気的に接続される配線と、を含み、前記第1接続部材は、少なくとも一部がシリサイド化されたシリサイド含有膜を含み、前記シリサイド含有膜は、前記第1コンタクトホール内に形成されたシリコンをシリサイド化することで形成されている半導体装置。

IPC (10件)：

H01L 27/10 , H01L 21/824 , H01L 27/108 , H01L 21/320 , H01L 21/768 , H01L 23/532 , H01L 27/088 , H01L 21/823 , H01L 27/092 , H01L 27/06

FI (6件)：

H01L27/10 461 , H01L27/10 621C , H01L21/88 Q , H01L27/08 102D , H01L27/08 321F , H01L27/06 102A

Fターム (73件)：

5F033JJ11 , 5F033JJ18 , 5F033JJ19 , 5F033JJ25 , 5F033JJ33 , 5F033KK01 , 5F033KK25 , 5F033LL04 , 5F033NN01 , 5F033NN03 , 5F033NN07 , 5F033PP06 , 5F033PP14 , 5F033PP15 , 5F033PP27 , 5F033PP28 , 5F033QQ08 , 5F033QQ09 , 5F033QQ19 , 5F033QQ25 , 5F033QQ31 , 5F033QQ37 , 5F033QQ48 , 5F033QQ70 , 5F033QQ73 , 5F033RR06 , 5F033TT08 , 5F033XX09 , 5F048AB01 , 5F048AB03 , 5F048AC01 , 5F048AC03 , 5F048AC10 , 5F048BA01 , 5F048BB05 , 5F048BB08 , 5F048BB09 , 5F048BB11 , 5F048BB12 , 5F048BB16 , 5F048BC06 , 5F048BE03 , 5F048BE04 , 5F048BF06 , 5F048BF11 , 5F048BF16 , 5F048BG13 , 5F048DA25 , 5F048DA27 , 5F048DA30 , 5F083AD24 , 5F083AD48 , 5F083AD49 , 5F083GA02 , 5F083JA02 , 5F083JA12 , 5F083JA35 , 5F083JA38 , 5F083JA39 , 5F083JA40 , 5F083MA06 , 5F083MA17 , 5F083MA20 , 5F083PR43 , 5F083PR44 , 5F083PR45 , 5F083PR46 , 5F083PR53 , 5F083PR54 , 5F083PR55 , 5F083PR56 , 5F083ZA06 , 5F083ZA12

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