特許

J-GLOBAL ID：201403032902898870

フレキシブルデバイスの製造方法

発明者： 田中 裕司
出願人/特許権者： パナソニック株式会社
代理人 (7件)： 中島 司朗 ,  小林 国人 ,  川畑 孝二 ,  木村 公一 ,  土田 幸雄 ,  中島 安洋 ,  小林 義周
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-193939
公開番号（公開出願番号）：特開2014-048619
出願日： 2012年09月04日
公開日（公表日）： 2014年03月17日
要約：

【課題】フレキシブルデバイスとして使用される領域のフレキシブル基板のみを選択的に支持基板から剥離することを可能とする。【解決手段】支持基板18の上方にフレキシブル基板10が配され、その上の電子素子形成領域(A)に電子素子13が形成されてなる構造体を準備する工程と、前記構造体に対し剥離用光20を照射する剥離工程と、支持基板18から剥離されたフレキシブル基板10を、電子素子形成領域(A)を除く領域(B)で切断する工程とを含み、支持基板18とフレキシブル基板10との間における、電子素子形成領域(A)に対応する領域の周囲には、フレキシブル基板10への剥離用光20の透過量を抑制する剥離防止層19が介挿されており、剥離工程では、フレキシブル基板10における剥離防止層19が形成されていない領域に対応する領域が支持基板18から剥離される。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

支持基板の上方にフレキシブル基板が配され、当該フレキシブル基板上における電子素子形成領域に電子素子が形成されてなる構造体を準備する準備工程と、 前記支持基板の下面側から前記構造体に対し、前記フレキシブル基板を前記支持基板から剥離するための剥離用光を照射する剥離工程と、 前記支持基板から剥離された前記フレキシブル基板を、前記電子素子形成領域を除く領域で切断する切断工程と、を含み、 前記支持基板と前記フレキシブル基板との間における、前記電子素子形成領域に対応する領域の周囲には、前記フレキシブル基板への前記剥離用光の透過量を抑制する剥離防止層が介挿されており、 前記剥離工程では、前記フレキシブル基板における前記剥離防止層が形成されていない領域に対応する領域が前記支持基板から剥離される、 フレキシブルデバイスの製造方法。

IPC (10件)：

G09F 9/00 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  H01L 21/02 ,  H01L 27/12 ,  G09F 9/30 ,  H01L 27/32 ,  H05B 33/02 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/10

FI (12件)：

G09F9/00 338 ,  H01L29/78 618B ,  H01L29/78 627D ,  H01L29/78 626C ,  H01L29/78 612D ,  H01L27/12 B ,  G09F9/30 310 ,  G09F9/30 365Z ,  H05B33/02 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/10 ,  H01L21/02 C

Fターム (65件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC41 ,  3K107CC45 ,  3K107DD17 ,  3K107DD18 ,  3K107EE03 ,  3K107FF15 ,  3K107GG28 ,  3K107GG52 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094AA49 ,  5C094BA03 ,  5C094BA27 ,  5C094DA06 ,  5C094DA12 ,  5C094EB01 ,  5C094GB10 ,  5C094JA08 ,  5F110AA16 ,  5F110BB01 ,  5F110CC03 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD04 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE06 ,  5F110EE43 ,  5F110EE44 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF28 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG05 ,  5F110GG13 ,  5F110GG15 ,  5F110GG42 ,  5F110HK02 ,  5F110HK06 ,  5F110HK32 ,  5F110HK33 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN33 ,  5F110NN34 ,  5F110NN35 ,  5F110QQ06 ,  5F110QQ16 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435CC09 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10