特許

J-GLOBAL ID：201403033131481471

成膜装置

発明者： 奥本 衛 ,  奥田 則之
出願人/特許権者： ダイキン工業株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人前田特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-277145
公開番号（公開出願番号）：特開2014-117689
出願日： 2012年12月19日
公開日（公表日）： 2014年06月30日
要約：

【課題】静電噴霧型の成膜装置において、装置を大型化させることなく、対象物に付着させる液滴の小径化を図る。【解決手段】成膜装置(10)は、被膜を形成するガラス基板(100)に対向し、原料液が供給される筒状の噴霧ノズル(21)と、原料液が帯電した液滴となって噴霧ノズル(21)からガラス基板(100)へ噴霧されるように噴霧ノズル(21)とガラス基板(100)との間に電圧を印加する電圧印加部(40)とを備えている。上記成膜装置(10)において、原料液がガラス基板(100)の表面に対して傾斜した方向に噴霧されるように噴霧ノズル(21)を構成する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

被膜を形成する対象物(100)に対向し、原料液が供給される筒状の噴霧ノズル(21)と、 上記原料液が帯電した液滴となって上記噴霧ノズル(21)から上記対象物(100)へ噴霧されるように上記噴霧ノズル(21)と上記対象物(100)との間に電圧を印加する電圧印加部(40)とを備え、 上記対象物(100)に原料液を噴霧することによって該対象物(100)の表面に被膜を形成する静電噴霧型の成膜装置であって、 上記噴霧ノズル(21)は、上記原料液を上記対象物(100)の表面に対して傾斜した方向に噴霧するように構成されている ことを特徴とする静電噴霧型の成膜装置。

IPC (1件)：

B05B 5/025

FI (1件)：

B05B5/025

Fターム (7件)：

4F034AA04 ,  4F034BA07 ,  4F034BA14 ,  4F034BB15 ,  4F034CA02 ,  4F034CA25 ,  4F034DA26