特許

J-GLOBAL ID：201403033582870668

感光性樹脂組成物、硬化膜の製造方法、硬化膜、液晶表示装置及び有機EL表示装置

発明者： 米澤 裕之
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-114971
公開番号（公開出願番号）：特開2014-235216
出願日： 2013年05月31日
公開日（公表日）： 2014年12月15日
要約：

【課題】コンタクトホールの底部残渣が抑制され、現像後の表面荒れが抑制され、耐薬品性に優れた感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】(A-1)(1)(a1-1)酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位および(a1-2)架橋性基を有する構成単位を有する重合体、(B-1)光酸発生剤、ならびに(C-1)溶剤を有する感光性樹脂組成物、または、(A-2)(a2-1)酸基を有する構成単位および(a2-2)架橋性基を有する構成単位を有する重合体、(Q-2)ナフトキノンジアジド化合物、ならびに(C-2)溶剤において、(S-1)一般式(S)で表される骨格を有する化合物を配合する。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(A-1)下記(1)および(2)の少なくとも一方を満たす重合体を含む重合体成分、 (1)(a1-1)酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位、および(a1-2)架橋性基を有する構成単位、を有する重合体、 (2)(a1-1)酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を有する重合体、および(a1-2)架橋性基を有する構成単位を有する重合体、 (B-1)光酸発生剤、 (C-1)溶剤、および (S-1)下記一般式(S)で表される骨格を有する化合物 を含有する感光性樹脂組成物。 一般式(S)

IPC (11件)：

G03F 7/004 ,  G03F 7/023 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/22 ,  H05B 33/12 ,  H05B 33/10 ,  G02F 1/133 ,  C08F 20/26 ,  C08F 12/22

FI (11件)：

G03F7/004 501 ,  G03F7/023 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R ,  H05B33/14 A ,  H05B33/22 Z ,  H05B33/12 B ,  H05B33/10 ,  G02F1/1333 505 ,  C08F20/26 ,  C08F12/22

Fターム (89件)：

2H125AE13P ,  2H125AE15P ,  2H125AE18P ,  2H125AF03P ,  2H125AF04P ,  2H125AF05P ,  2H125AF18P ,  2H125AF45P ,  2H125AF52P ,  2H125AF70P ,  2H125AH05 ,  2H125AH06 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ44Y ,  2H125AJ52X ,  2H125AJ63X ,  2H125AJ63Y ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ64Y ,  2H125AM13P ,  2H125AM23P ,  2H125AM26P ,  2H125AM27P ,  2H125AM32P ,  2H125AM38P ,  2H125AM66P ,  2H125AM86P ,  2H125AN02P ,  2H125AN11P ,  2H125AN28P ,  2H125AN29P ,  2H125AN31P ,  2H125AN33P ,  2H125AN36P ,  2H125AN39P ,  2H125AN71P ,  2H125AN88P ,  2H125BA01P ,  2H125BA05P ,  2H125BA09P ,  2H125BA11P ,  2H125BA22P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125BA33P ,  2H125CA22 ,  2H125CA24 ,  2H125CB05 ,  2H125CB06 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125CC21 ,  2H190HA03 ,  2H190HA04 ,  2H190HB13 ,  2H190HC05 ,  2H190HC11 ,  2H190HC12 ,  2H190HC13 ,  2H190HC15 ,  2H190HD03 ,  3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC22 ,  3K107CC45 ,  3K107DD89 ,  3K107DD90 ,  3K107DD91 ,  3K107DD97 ,  3K107GG06 ,  3K107GG11 ,  3K107GG28 ,  4J100AB07P ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100BA02P ,  4J100BA03P ,  4J100BA05P ,  4J100BA06P ,  4J100BA15P ,  4J100BC23P ,  4J100BC43P ,  4J100BC53P ,  4J100BC54P ,  4J100BC54Q ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100JA38