特許

J-GLOBAL ID：201403033831312131

結晶膜の検査方法及び検査装置

発明者： 山本 修平 ,  三浦 健宏
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (2件)： 米津 潔 ,  水方 勝哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-145445
公開番号（公開出願番号）：特開2014-011240
出願日： 2012年06月28日
公開日（公表日）： 2014年01月20日
要約：

【課題】 従来技術では検出することができない、ポリシリコン結晶膜の膜厚が薄くなった基板の微結晶部分を検出することができるポリシリコン結晶膜の検査方法および検査装置を提供する。【解決手段】 暗視野で撮影した画像においてレーザーの走査方向に垂直方向に積算してプロファイルを作成し、プロファイルの上位と下位について任意の数点から平均を算出し、上位の平均と下位の平均からコントラスト値を算出し、算出されたコントラスト値からパワーオーバー及びパワーアンダー部分が存在しているか判断する。【選択図】 図11

請求項（抜粋）：

エネルギー線を照射してアニール処理を実施することによって形成されたポリシリコン結晶膜の検査方法であって、 アニール処理後に暗視野で撮影した画像において、アニールに使用したレーザーの走査方向に対して垂直に積算平均を行い、プロファイルを作成し、プロファイルの最大値と最小値からコントラスト値を算出して、コントラスト値をあらかじめ定めた値と比較してパワーオーバー及びパワーアンダー部分が存在するかを判定することを特徴とするポリシリコン結晶膜の検査方法。

IPC (2件)：

H01L 21/20 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

H01L21/20 ,  H01L21/66 N

Fターム (17件)：

4M106AA10 ,  4M106BA10 ,  4M106CB30 ,  4M106DJ12 ,  5F152AA17 ,  5F152CC02 ,  5F152CC09 ,  5F152CD13 ,  5F152CE05 ,  5F152FF03 ,  5F152FF28 ,  5F152FG03 ,  5F152FG08 ,  5F152FG18 ,  5F152FG29 ,  5F152FH03 ,  5F152FH19